[发明专利]高对比度的透明导体及其形成方法有效
申请号: | 200880012849.3 | 申请日: | 2008-04-18 |
公开(公告)号: | CN101971354A | 公开(公告)日: | 2011-02-09 |
发明(设计)人: | 曼夫莱德·海德克尔;皮埃尔-马克·阿莱曼德;迈克尔·A·斯贝德;代海霞 | 申请(专利权)人: | 凯博瑞奥斯技术公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L33/00 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 余朦;王艳春 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 对比度 透明 导体 及其 形成 方法 | ||
1.一种透明导体,包括:
衬底;以及
所述衬底上的传导网络,所述传导网络包括多个金属纳米结构;其中所述透明导体的对比度大于1000。
2.如权利要求1所述的透明导体,其中所述金属纳米结构为金属纳米线、金属纳米管或其组合。
3.如权利要求1所述的透明导体,其中所述对比度大于3000。
4.如权利要求1所述的透明导体,其中所述对比度大于5000。
5.如权利要求1所述的透明导体,其光透射率大于85%。
6.如权利要求1所述的透明导体,其光透射率大于90%。
7.如权利要求1所述的透明导体,其光透射率大于95%。
8.如权利要求1所述的透明导体,其表面电阻率小于1000Ω/□。
9.如权利要求8所述的透明导体,其表面电阻率小于500Ω/□。
10.如权利要求8所述的透明导体,其表面电阻率小于100Ω/□。
11.如权利要求1所述的透明导体,其中,所述传导层的表面电阻率在50Ω/□和400Ω/□之间。
12.如权利要求1所述的透明导体,其中所述透明导体的霾小于5%。
13.如权利要求1所述的透明导体,其中所述透明导体的霾小于1%。
14.如权利要求1所述的透明导体,其中所述纳米结构为金纳米管。
15.如权利要求1所述的透明导体,其中所述纳米结构为合金或双金属纳米管。
16.如权利要求15所述的透明导体,其中所述纳米结构为金/银合金或双金属纳米管。
17.如权利要求1所述的透明导体,其中所述纳米结构为被氧化的纳米管或被氧化的纳米线。
18.如权利要求1所述的透明导体,进一步包括在所述传导网络上的外涂层。
19.如权利要求18所述的透明导体,其中将所述透明导体在至少100℃烘焙1小时使所述透明导体的表面电阻率的改变小于1%。
20.如权利要求18所述的透明导体,其中将所述透明导体在至少200℃烘焙1.5小时使所述透明导体的表面电阻率的改变小于1%。
21.如权利要求18所述的透明导体,其中将所述透明导体暴露于4%的KOH溶液5分钟使所述膜的表面电阻率的改变不大于5%。
22.如权利要求18所述的透明导体,其中将所述透明导体暴露于5%的TMAH溶液5分钟使所述膜的表面电阻率的改变小于1%。
23.如权利要求18所述的透明导体,其中将所述透明导体暴露于IPA 30分钟使所述膜的表面电阻率的改变小于1%。
24.如权利要求18所述的透明导体,其中将所述透明导体暴露于NMP 30分钟使所述膜的表面电阻率的改变小于1%。
25.一种组合物,包括:
溶剂;
粘度调节剂;
表面活性剂;以及
多个金属纳米管,其中按重量计算,纳米管的百分比从0.05%至1.4%。
26.如权利要求25所述的组合物,其中所述溶剂为水、酒精、酮、醚、碳氢化合物或芳香族溶剂。
27.如权利要求25所述的组合物,其中所述粘度调节剂为羟丙基甲基纤维素(HPMC)、甲基纤维素、黄原胶、聚乙烯醇、羧甲基纤维素、或羟乙基纤维素。
28.如权利要求25所述的组合物,其中所述表面活性剂为ZonylFSN、ZonylFSO、ZonylFFA、ZonylFSH、Triton、Dynol、正十二烷基-β-D-麦芽糖苷或Novek。
29.一种组合物,包括:
溶剂;
粘度调节剂;
表面活性剂;以及
多个金属纳米管,其中所述表面活性剂与所述粘度调节剂的比例为约80至约0.01。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的