[发明专利]作业装置以及作业装置用外盖

说明书

技术领域

本发明涉及一种具有在框架的延伸方向可移动的作业头(working head)的龙门型(gantry)作业装置，并且涉及一种可容易实施前述作业头的维修作业的作业装置以及作业装置用外盖。 

并且，在本说明书中“液材”是指包含从溶剂、水溶液的低粘度的液体至油脂(grease)、粘合材等粘稠状体的广泛粘性范围的液体材料，包含具有填料、固体粒子的液体材料，包含银糊、焊糊等浆料的流动体。 

并且，在本说明书中“吐出”包含使液体从喷嘴离开前接触工件类型的吐出以及使液材从喷嘴离开后接触工件类型的吐出。 

背景技术

具有载置工件的工作台、以及具有作业头的框架(frame)(也称为梁架(beam)或龙门架(gantry frame))的作业装置，一般被称为龙门型作业装置。对于和作业头相对移动的工件为了实施所希望作业的龙门型作业装置，例如有在液晶显示面板的制造中的涂布密封剂的装置、太阳电池面板的图案形成装置、以及半导体装置的缺陷检查装置等。 

此种装置，随着工件的大型化其装置本体也有变成大型化的倾向，例如，第8代的液晶显示面板用的玻璃基板的尺寸为2160mm×2400mm，而作业装置则必须具有可载置此基板的工作台。 

门型构造的龙门型液材涂布装置，例如在专利文献1中揭示一种装置，其被构成为使保持形成浆料图案的基板的基板保持机构仅在一方向保持可移动，而在基板上分别设置涂布浆料的涂布头，并使前述涂布头对前述基板的移动方向可在直角方向移动，如此构成的涂布头支持机构被设置2组，一边的涂布头支持机构固定在台座上，而另一边的涂布头支持机构则可移动地设于前述基板的移动方向。 

并且，在专利文献2中则揭示一种装置，其被构成为在对搭载于 工作台上的基板上涂布描画所希望形状的浆料图案的浆料涂布机中，具有：框架，在被涂布描画基板的浆料图案面的平行面内，在一方向可移动并且延伸至和此方向不同方向；多个涂布头，被配列在框架上，设有在框架的延伸方向可移动的线性电动机，并且设有浆料收容筒与具有可吐出被充填于此浆料收容筒的浆料的吐出口的喷嘴；以及控制装置，在相对向于搭载浆料吐出口的工作台的基板的范围内，对工作台可使框架移动，同时，对框架一面使多个涂布头移动，一面控制从多个涂布头的浆料吐出口吐出的浆料；并且，通过多个涂布头在基板上涂布描画所希望形状的浆料图案。 

专利文献1：日本专利第3701882号公报 

专利文献2：日本专利特开2003-225606号公报 

发明内容

(发明要解决的问题) 

如专利文献1例示的装置，作业头被安装在框架内侧的龙门型装置，由于使框架移动的作业头平常位于台座的内侧，因此，要维修作业头时，作业者必须大大地伸出手以实施作业。特别是在框架具有多个作业头的多头型装置中，则有从台座的外部伸手也无法维修的作业头，而不得不在维修时必须登上台座上以实施作业。 

但是，由于在台座上配置有载置工件的工作台等，作业者在其附近或其上方实施维修作业并不佳。特别是对被要求高清洁度的装置，除了在工作台附近等实施维修不佳外，依照情况也有必须在工作台等上覆盖薄膜(sheet)等而实施作业的情形。 

并且，装置本体被配置在外盖内时，则有更深刻的问题。在维修时，作业者必须将上半身伸入外盖内而实施维修，其作业性恶劣，并且在必须清洁环境的装置内其会带入灰尘或污垢等的粒子或人体产生的发尘物而不佳，并且，在维修作业中也有发生工具等的接触或落下而使工作台等破损的问题。 

而且，在维修时产生的粒子会滞留在外盖内，反而会有损及清洁性的问题。 

鉴于上述问题，本发明的目的为提供一种容易维修作业头，并且 不会有损清洁性而实施维修的作业装置以及作业装置用外盖。 

(解决技术问题的技术方案) 

为了提高作业头的维修性，其解决手段之一可考虑将作业头安装在框架的外侧。但是，在设置多个使作业头安装在框架的外侧的框架构造的装置的情形，必须使各框架构成为可移动，而在一个框架的作业中，必须控制各自的动作而不会使其妨碍到另外的框架的作业。