[发明专利]移动体装置无效
申请号: | 200880013387.7 | 申请日: | 2008-11-06 |
公开(公告)号: | CN101689025A | 公开(公告)日: | 2010-03-31 |
发明(设计)人: | 金谷有步 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 任默闻 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 移动 装置 | ||
1.一种移动体装置,包含实质沿既定平面移动的移动体,其特征在于, 所述移动体装置包括:
标尺,包含配置于所述移动体与所述移动体外部中的一方,以与所述既 定平面平行的面内的第1方向为长边方向,且于与所述第1方向正交的第2 方向具有既定宽度的反射面;以及
测量装置,包含:使用形成于所述标尺的光栅测量在所述既定平面内的 所述移动体的位置信息的编码器系统,在所述反射面上的复数个测量点测量 所述移动体在与所述既定平面正交的第3方向的位置信息;
所述复数个测量点的配置,设定成所述复数个测量点中的n点以上位于 所述反射面上的所述既定宽度内,且在所述移动体位于既定位置时,所述复 数个测量点中的n+1点以上位于所述反射面上的所述既定宽度内,其中,n 为2以上的整数。
2.如权利要求1所述的移动体装置,其特征在于,所述反射面设于所述 移动体的与所述既定平面实质平行的面。
3.如权利要求2所述的移动体装置,其特征在于,于所述移动体,所述 反射面于所述第2方向分离设置一对;
将所述测量点的配置,设定成在所述移动体位于所述既定平面内的既定 范围时,n个以上的测量点随时位于所述一对反射面的至少一方。
4.如权利要求1至3中任一项所述的移动体装置,其特征在于,所述移 动体装置进一步包括:
控制装置,所述控制装置优先使用在位于所述反射面的所述既定宽度内 的所述n点以上的测量点、或在所述移动体位于所述既定位置时,位于所述 反射面的既定宽度内的所述n+1点以上的测量点中,包含在第1测量点的测 量信息的第1测量信息进行所述移动体的位置控制;
所述控制装置,在位于所述反射面的所述既定宽度内的测量点的测量信 息产生异常时,将优先使用于所述移动体的位置控制的测量信息,切换成包 含在与所述第1测量点不同的第2测量点的测量信息的第2测量信息。
5.如权利要求4所述的移动体装置,其特征在于,所述控制装置,在所 述第1测量点的测量信息产生异常时,将用于所述移动体的位置控制的测量 信息切换成所述第2测量信息。
6.如权利要求4所述的移动体装置,其特征在于,所述第1测量信息及 所述第2测量信息分别包含在复数测量点的测量信息。
7.如权利要求4所述的移动体装置,其特征在于,所述第1测量信息及 所述第2测量信息分别是在一个测量点的测量信息。
8.如权利要求4所述的移动体装置,其特征在于,所述测量装置具有复 数个对测量点照射测量光的读头;
当所述测量信息的异常是由于读头的动作不良而产生时,所述控制装置 即进行所述切换。
9.如权利要求1或2所述的移动体装置,其特征在于,所述测量装置具 有复数个对测量点照射测量光的读头,所述复数个读头分别对彼此不同的测 量点照射所述测量光。
10.如权利要求1或2所述的移动体装置,其特征在于,所述测量点在所 述第2方向,每于所述反射面的既定宽度一半以下的间隔,配置成实质等间 隔。
11.如权利要求1或2所述的移动体装置,其特征在于,所述测量装置具 有对同一测量点照射测量光的第1、第2读头,从所述第1读头照射的测量光 的照射区域与从所述第2读头照射的测量光的照射区域,在不重迭的状态下 彼此接近。
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