[发明专利]盒系统集成设备

权利要求书

1.一种泵盒，包括：

壳体，包括至少两条流体管线，包括用于第一流体的第一入口流体管线和 第一出口流体管线，以及用于第二流体的第二入口流体管线和第二出口流体管 线；

至少一个平衡荚，位于所述壳体中，并与所述流体管线流体连通，所述平 衡荚包括由弹性隔膜分开的第一腔和第二腔，所述第一腔与所述第一入口流体 管线和第一出口流体管线流体连接，并且所述第二腔与所述第二入口流体管线 和第二出口流体管线流体连接，其中所述平衡荚平衡所述第一流体的流与所述 第二流体的流；以及

至少一个往复式容积隔膜泵位于所述壳体中，所述隔膜泵具有内部空穴， 所述空穴包括由弹性隔膜分开的致动腔和泵腔，其中所述隔膜泵的行程配置成 将第一体积的所述第二流体泵送至所述平衡荚的第二腔，将所述第一体积的所 述第一流体从所述平衡荚的第一腔中置换出来。

2.如权利要求1所述的泵盒，其中所述往复式容积隔膜泵包括：

弯曲刚性腔室壁；以及

与所述刚性腔室壁附接的弹性隔膜，其中所述弹性隔膜和所述刚性腔室侧 壁界定泵腔。

3.如权利要求1所述的泵盒，其中所述壳体还包括：

顶片；

中片；以及

底片。

4.如权利要求1所述的泵盒，其中还包括计量泵，位于所述壳体中并与 所述第一入口流体管线和第一出口流体管线或所述第二入口流体管线和第二 出口流体管线流体连通，其中所述计量泵配置成泵送所述流体使之绕过所述平 衡荚。

5.如权利要求4所述的泵盒，其中所述隔膜泵及所述计量泵为气压致动 泵。

6.如权利要求1所述的泵盒，其中还包括计量泵，位于所述壳体中并与 所述第一入口流体管线和第一出口流体管线或所述第二入口流体管线和第二 出口流体管线流体连通，其中所述计量泵为往复式容积隔膜泵，其配置成泵送 所述流体使之绕过所述平衡荚。

7.如权利要求1所述的泵盒，其中，在每个所述流体管线中还包括至少 一个流体阀。

8.如权利要求7所述的泵盒，其中，所述泵盒包括至少两个由一个气动 阀致动的流体阀。