[发明专利]超声波传感器以及超声波摄像装置

权利要求书

1.一种使用细微加工技术制造的静电容量式超声波传感器，其特征在于，

具有：

多个元件，它们各自具备底部、壁部、与所述底部相向并由所述壁部支撑 的膜部、设置在所述底部上的第一电极、以及设置在所述膜部上的第二电极， 作为元件阵列实质上二维排列；

信号处理部，其控制所述元件的信号的发送接收；以及

信号切断单元，其对于配置在所述元件阵列边缘部的元件组，切断所述信 号处理部与该元件组之间的信号传递，

其中，所述信号切断单元是对构成所述元件组的各个元件的所述底部和所 述膜部之间的空间进行填充的能够抑制所述膜部移位或者振动的填充部件。

2.根据权利要求1所述的静电容量式传感器，其特征在于，

所述信号切断单元是阻碍所述元件组与所述信号处理部的电气连接的单元。

3.一种使用细微加工技术制造的静电容量式超声波传感器，其特征在于，

具有：

多个第一元件，它们各自具备底部、壁部、与所述底部相向并由所述壁部 支撑的膜部、设置在所述底部上的第一电极、以及设置在所述膜部上的第二电 极，作为元件阵列实质上二维排列；

多个第二元件，它们各自具备底部、壁部、以及与所述底部相向并由所述 壁部支撑的膜部，以包围所述元件阵列的方式被配置；以及

信号处理部，其控制所述第一元件的信号的发送接收，

所述第二元件均不具有电极。

4.根据权利要求3所述的静电容量式传感器，其特征在于，

所述第二元件的所述底部与所述膜部之间的空间被填充部件填充。

5.一种超声波摄像装置，其具有：

超声波探头，其向检测体发送超声波，接收从检测体反射的回波信号；

发送波束形成单元，其为了向所述检测体发送而向所述超声波探头提供发 送波束信号；

接收波束形成单元，其对从所述检测体接收到的回波信号进行信号处理， 处理为接收波束信号；

图像处理单元，其对所述信号处理后的接收波束信号进行包括各种滤波、 包络线信号检测、扫描变换的图像处理；以及

图像显示单元，其把图像处理后的接收波束信号作为超声波图像来显示，

所述超声波摄像装置的特征在于，

所述超声波探头是权利要求1所述的静电容量式超声波传感器。

6.根据权利要求5所述的超声波摄像装置，其特征在于，

所述信号切断单元是阻碍所述元件组与所述信号处理部的电气连接的单元。

7.一种超声波摄像装置，其具有：

超声波探头，其向检测体发送超声波，接收从检测体反射的回波信号；

发送波束形成单元，其为了向所述检测体发送而向所述超声波探头提供发 送波束信号；

接收波束形成单元，其对从所述检测体接收到的回波信号进行信号处理， 处理为接收波束信号；

图像处理单元，其对所述信号处理后的接收波束信号进行包括各种滤波、 包络线信号检测、扫描变换的图像处理；以及

图像显示单元，其把图像处理后的接收波束信号作为超声波图像来显示，

所述超声波摄像装置的特征在于，

所述超声波探头是权利要求4所述的静电容量式超声波传感器。

8.根据权利要求7所述的超声波摄像装置，其特征在于，

所述第二元件的所述底部与所述膜部之间的空间被填充部件填充。