[发明专利]弹性波元件

权利要求书

1.一种弹性波元件，其具备：

压电基板、

设置于所述压电基板上的梳形电极、

覆盖所述梳形电极且含有氩的氧化硅膜、

设置于所述氧化硅膜上的氮氧化硅膜，

所述氧化硅膜的膜厚H和在所述压电基板传播的弹性波的波长λ满足 H/λ≥0.15的关系，

所述氮氧化硅膜的膜厚为3nm以上，且为所述氧化硅膜的所述膜厚H 的3％以下。

2.如权利要求1所述的弹性波元件，所述氮氧化硅膜抑制所述氧化硅 膜中含有的氩向所述氧化硅膜的外部释放。

3.如权利要求2所述的弹性波元件，所述弹性波元件用于通用设备的 发送滤波器。