[发明专利]先导式微型滑阀

权利要求书

1.一种微型阀装置，其包括：

先导阀，其具有先导输入口和先导输出口；

微型滑阀，其具有阀芯输入口和阀芯输出口，所述微型滑阀响应 所述先导阀，以使所述阀芯输入口和所述阀芯输出口的流通横截面积 之比保持与所述先导输入口和所述先导输出口的流通横截面积之比相 等。

2.如权利要求1所述的微型阀装置，所述微型滑阀还包括：

主体，其界定具有第一端部和第二端部的腔，所述阀芯输入口用 于流体连通进入所述腔，所述阀芯输出口用于流体连通离开所述腔； 以及

微加工的阀芯，其具有第一阀端部和第二阀端部，所述微加工的 阀芯设置在所述腔中，以便在第一位置和第二位置之间滑动，所述第 一位置允许流体从所述阀芯输入口流动到所述阀芯输出口，而所述第 二位置限制流体从所述阀芯输入口流动到所述阀芯输出口，所述微加 工的阀芯设置在处于控制压力下的第一流体容积和处于参考压力下的 第二流体容积之间，所述第一流体容积设置在所述第一阀端部和所述 腔的所述第一端部之间，而所述第二流体容积设置在所述第二阀端部 和所述腔的所述第二端部之间，其中，所述参考压力通过改变所述微 加工的阀芯的位置而改变，所述微加工的阀芯通过所述控制压力和所 述参考压力之间的任何压差而被推动到一位置，在该位置，所述参考 压力改变到等于所述控制压力的一压力。

3.如权利要求2所述的微型阀装置，其中，所述主体包括板，所 述板界定所述腔，并且其中，所述微加工的阀芯与所述板一体地形成。

4.如权利要求2或3所述的微型阀装置，其中，

所述阀芯输入口是参考输入口，所述参考输入口用于流体进入所 述腔与所述第二流体容积连通；

所述阀芯输出口是参考输出口，所述参考输出口用于从所述第二 流体容积流体连通离开所述腔，其中，当所述微加工的阀芯处于所述 第一位置时，参考输入口和参考输出口中的一个具有第一参考流动能 力，而当所述微加工的阀芯处于所述第二位置时，参考输入口和参考 输出口中的所述一个具有不同于所述第一参考流动能力的流动能力；

所述主体还界定了主阀芯输入口，用于流体连通进入所述腔；并 且

所述主体还界定了主阀芯输出口，用于流体连通离开所述腔，当 所述微加工的阀芯处于所述第一位置时，所述主阀芯输入口和所述主 阀芯输出口中的至少一个具有第一主阀芯流动能力，而当所述微加工 的阀芯处于所述第二位置时，所述主阀芯输入口和所述主阀芯输出口 中的所述至少一个具有不同于所述第一主阀芯流动能力的流动能力。

5.如权利要求1所述的微型阀装置，所述微型滑阀还包括：

主体，其界定：阀芯腔，所述阀芯腔具有第一端部和第二端部； 与所述阀芯腔连通的第二阀芯输入口；与所述阀芯腔连通的第二阀芯 输出口；控制口，所述控制口适于接收控制压力信号；所述阀芯输入 口是第一阀芯输入口并适于连接到处于第一压力下的流体源；所述阀 芯输出口是第一阀芯输出口并适于连接到处于第二压力下的流体区 域，所述第二压力小于所述第一压力；以及

阀芯，其具有设置在所述阀芯腔中的控制侧和参考侧，且所述控 制侧靠近所述阀芯腔的所述第一端部，所述控制侧与所述主体相配合， 以在所述控制侧和所述阀芯腔的所述第一端部之间界定可变大小的控 制容积，所述控制容积与所述控制口连续流体连通，所述阀芯的所述 参考侧与所述主体相配合，以在所述阀芯的所述参考侧和所述阀芯腔 的所述第二端部之间界定可变大小的参考容积，所述阀芯在第一位置 和第二位置之间是可移动的，同时防止了所述控制容积和所述参考容 积之间流体泄漏通过所述阀芯腔，所述第一位置邻近所述阀芯腔的所 述第一端部，所述第二位置邻近所述阀芯腔的所述第二端部，当所述 阀芯处于所述第一位置时，所述阀芯允许所述第二阀芯输入口和所述 第二阀芯输出口之间的流体连通，当所述阀芯处于所述第二位置时， 所述阀芯阻挡所述第二阀芯输入口和所述第二阀芯输出口之间的流体 连通，随着所述阀芯从其所述第一位置向着其所述第二位置移动，所 述阀芯逐渐地减小所述第一阀芯输出口和所述控制容积之间的流体连 通，并逐渐地增加所述第一阀芯输入口和所述控制容积之间的流体连 通，以随着所述阀芯从其所述第一位置向着其所述第二位置移动，引 起所述参考容积中的压力上升，所述阀芯根据所述控制容积和所述参 考容积之间的压力差而移动。