[发明专利]用于多边形断裂的基于斯坦纳树的方法

权利要求书

1.一种用于掩模数据准备的方法，其与包括起始多边形的预备 掩模布局一同使用，所述起始多边形包括多个连接起始多边形顶点对 的边界段，所述起始多边形具有内部，

其中所述起始多边形的顶点包括至少一个I点，每个I点具有严 格大于90度的内角，所述方法包括步骤：

发展具有多个节点和连接节点对的多个边的直线分割树，所述多 个节点包括所述起始多边形的所有I点，所述多个边至少包括连接到 每个I点的一个边；

输出多个子多边形以用于掩膜写入，其共同地分割所述起始多边 形，所有所述子多边形的所有边或是位于所述起始多边形的边界上， 或是位于所述分割树的边上，或是二者兼有，

其中所述发展分割树的步骤包括步骤：

构造连接所述起始多边形的所有I点和所述起始多边形的所有R 点的生成树，所述R点是所述起始多边形边界上不与顶点重合的所有 的点，并且其被布置为从一个I点直线地穿过所述起始多边形内部； 以及

根据所述生成树来形成分割树。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述分割树中的多个节点 进一步包括至少一个R点。

3.根据权利要求2所述的方法，其中位于所述起始多边形边界 上的、不与顶点重合、并且被布置为从一个I点直线地穿过起始多边 形内部的至少一个点，不包括在所述分割树内。

4.根据权利要求2所述的方法，其中针对所述起始多边形的每 个给定I点，如果所述给定I点具有两个R点，所述R点为所述起始 多边形边界上不与顶点重合或互相重合的点，并且其被布置为从给定 的I点直线地穿过起始多边形内部，则所述R点中的一个被包括在所 述分割树内，而另一个不被包括在所述分割树内。

5.根据权利要求4所述的方法，其中针对每个给定的I点所包括 的R点在所述分割树中与给定的I点直接连接。

6.根据权利要求2所述的方法，其中所述分割树的边均不包括 所述起始多边形的外部的任何部分。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述分割树中的多个节点 进一步包括至少一个斯坦纳点，所述多个节点不包括任何2价斯坦纳 点。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所有子多边形是梯形。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所有子多边形的位于所述 分割树边之一上的任何部分中的所有侧都是直线。

10.根据权利要求1所述的方法，

进一步包括提供预定代价函数的步骤，

其中所述分割树中的多个节点进一步包括至少一个R点；

其中所述分割树是直线斯坦纳树；以及

其中在可以被构造以连接所有I点和R点的所有可能的直线斯坦 纳树中，所述分割树具有根据所述代价函数的最小代价。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述树中的每个给定R 点在所述树中与如下I点直接连接，所述I点被布置为从所述给定R 点直线地穿过所述起始多边形内部。

12.根据权利要求10所述的方法，其中所述代价函数正面地依 赖于所述分割树的L1边长度的总和。

13.根据权利要求10所述的方法，其中，所述代价函数正面地 依赖于任何由所述分割树产生的未嵌入细条的总长度。

14.根据权利要求10所述的方法，其中，所述代价函数不倾向 于那些具有切割所述起始多边形的关键尺寸的边的分割树。

15.根据权利要求10所述的方法，其中，所述代价函数不倾向 于那些具有至少部分位于所述起始多边形外部的边的分割树。

16.根据权利要求10所述的方法，其中，所述代价函数更倾向 于所有斯坦纳点都为3价的分割树，而不倾向于那些具有任何2价斯 坦纳点的分割树。

17.根据权利要求10所述的方法，其中所述代价函数不倾向于 那些包括来自任何单独I节点的两个切割的分割树。