[发明专利]移动体装置、图案形成装置及曝光装置、以及元件制造方法

权利要求书

1.一种移动体装置，包含实质沿既定平面移动的移动体，其特征在于， 具备：

标尺，配置于所述移动体与所述移动体外部中的一方，具有以与所述既 定平面平行的面内的第一方向为长边方向、且于与所述第一方向正交的第二 方向具有既定宽度的光栅部；

测量装置，具有配置于所述移动体的移动区域的多个测量点，所述多个 测量点中的n点以上位于所述标尺上的所述既定宽度内，其中n为2以上的 整数，且在所述移动体位于既定位置时设定为所述多个测量点中的n＋1点以 上位于所述标尺上的所述既定宽度内，通过将测量光照射于配置在所述既定 宽度的标尺上的测量点，测量所述标尺在所述光栅部的周期方向的位置信息； 以及

控制装置，优先使用位于所述标尺的所述既定宽度内的所述n点以上的 测量点、或在所述移动体位于所述既定位置时位于所述标尺的所述既定宽度 内的所述n＋1点以上的测量点中，包含在第一测量点的测量信息的第一测量 信息进行所述移动体的位置控制，且在位于所述标尺的所述既定宽度内的所 述第一测量点的测量信息因所述标尺异常而产生异常时，将优先使用于所述 移动体的位置控制的测量信息，切换成包含在与所述第一测量点不同的第二 测量点的测量信息的第二测量信息；

所述测量装置，具有在所述第二方向上位置不同的多个读头部，各所述 读头部将所述测量光照射于至少两个测量点，所述至少两个测量点中的一个 测量点用于在所述移动体的位置控制优先被使用的所述第一测量信息的测 量，且其他测量点用于与所述第一测量信息切换而用于所述移动体的位置控 制的所述第二测量信息的测量，所述n+1点以上的测量点包含被所述多个读 头部中相邻的两个读头部照射所述测量光的至少四个测量点；

所述控制装置，在被所述多个读头部中的一个读头部照射所述测量光的 所述第一、第二测量点因所述移动体往所述第二方向移动而离开所述标尺前， 切换成被所述多个读头部中与所述一个读头部相邻的其他读头部照射所述测 量光的与所述第一、第二测量点不同的测量点的测量信息，以进行所述移动 体的位置控制。

2.如权利要求1所述的移动体装置，其中，所述第一测量信息及所述第 二测量信息分别包含在多个测量点的测量信息。

3.如权利要求1所述的移动体装置，其中，所述第一测量信息及所述第 二测量信息分别是在一个测量点的测量信息。

4.如权利要求1所述的移动体装置，其中，所述测量装置，通过所述多 个读头部中相邻的两个读头部对所述n点以上的测量点照射所述测量光。

5.如权利要求1所述的移动体装置，其中，于所述移动体设有一对在所 述第二方向分离的所述标尺；

所述测量点的配置设定成在所述移动体位于所述既定平面内的既定范围 时，n个以上的测量点随时位于所述一对标尺的至少一方。

6.如权利要求1所述的移动体装置，其中，于所述移动体，进一步地设 有一对各自的长边方向朝向所述第二方向且在所述第一方向分离的其他标 尺；

所述测量点的配置设定成在所述移动体位于所述既定平面内的既定范围 时，n个以上的测量点随时位于所述一对其他标尺的至少一方。

7.如权利要求1所述的移动体装置，其中，所述测量点，是在所述第二 方向，每于所述标尺的既定宽度一半以下的间隔，配置成实质等间隔。

8.如权利要求1所述的移动体装置，其中，所述测量装置中，所述多个 读头部具有均对同一测量点照射测量光的第一、第二读头，从所述第一读头 照射的测量光的照射区域与从所述第二读头照射的测量光的照射区域，是在 不重迭的状态下彼此接近。

9.一种图案形成装置，于物体形成图案，其具备：

于所述物体上形成图案的图案化装置；以及

将所述物体装载于所述移动体的权利要求1至8中任一项所述的移动体 装置。

10.如权利要求9所述的图案形成装置，其中，所述物体具有感应层，所 述图案化装置是通过使所述感应层曝光而于所述物体上形成图案。