[发明专利]利用丝网印刷的局部背场形成高质量背接触有效
申请号: | 200880015312.2 | 申请日: | 2008-05-06 |
公开(公告)号: | CN101720512A | 公开(公告)日: | 2010-06-02 |
发明(设计)人: | 阿吉特·罗哈吉;威猜·米蒙空革 | 申请(专利权)人: | 佐治亚科技研究公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/18 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 顾晋伟;王春伟 |
地址: | 美国佐*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 利用 丝网 印刷 局部 形成 质量 接触 | ||
1.一种太阳能电池,包括:
厚度小于200微米的薄结晶硅晶片,其包含连接至n-区的p-区;
连接至所述硅晶片的背表面的第一介电层;
连接至所述第一介电层以保护所述介电层的第一阻挡层,其中 所述第一阻挡层和所述第一介电层限定通向所述硅晶片的开口,和
连接至所述硅晶片、所述第一介电层和所述第一阻挡层以传导 电荷的背接触,其中整个所述背接触包含铝和硅的合金,其中所述 合金在所述开口处形成厚度为6~15微米的背场。
2.根据权利要求1的太阳能电池,其中所述合金含有1~12原子% 的硅。
3.根据权利要求1的太阳能电池,其中所述背接触具有至少85% 的背表面反射率。
4.根据权利要求1的太阳能电池,其中所述背接触具有125厘米/ 秒或更低的背表面复合速率。
5.根据权利要求1的太阳能电池,其中所述铝为非烧结的铝。
6.根据权利要求1的太阳能电池,其中所述铝为低烧结的铝。
7.根据权利要求1的太阳能电池,其中所述第一介电层的厚度为
8.根据权利要求1的太阳能电池,其中所述第一介电层包含二氧 化硅。
9.根据权利要求1的太阳能电池,其中所述第一阻挡层的厚度为
10.根据权利要求1的太阳能电池,其中所述第一阻挡层包含氮化 硅。
11.根据权利要求1的太阳能电池,还包括:
连接至所述硅晶片的前表面以钝化所述前表面的第二介电层。
12.根据权利要求11的太阳能电池,还包括:
连接至所述第二介电层以提供抗反射涂层的第二阻挡层。
13.一种太阳能电池装置,包括:
厚度为200微米或更低的薄硅晶片,其包含连接至n-区的p- 区;
连接至所述硅晶片的背表面的第一介电层;
连接至所述第一介电层以保护所述介电层的阻挡层,其中所述 阻挡层和所述介电层限定通向所述硅晶片的至少第一开口,和
通过所述至少第一开口连接至所述阻挡层、所述第一介电层和 所述硅晶片的背接触,其中整个所述背接触包含具有1~12原子% 硅的铝。
14.根据权利要求13的太阳能电池装置,还包括:
连接至所述硅晶片的前表面以钝化所述硅晶片的第二介电层。
15.根据权利要求13的太阳能电池装置,其中通向所述硅晶片的所 述至少第一开口为点状。
16.根据权利要求13的太阳能电池装置,其中通向所述硅晶片的所 述至少第一开口为线状。
17.根据权利要求13的太阳能电池装置,其中所述背接触具有至少 85%的背表面反射率。
18.一种用于制造太阳能电池装置的方法,包括:
在薄硅晶片的掺杂基板上形成扩散层,其中所述硅晶片具有前表 面和背表面;
利用旋涂方法在至少所述硅晶片的背表面上形成介电层;
在所述介电层上形成阻挡层;
移除所述阻挡层和背表面介电层的一部分以形成通向所述基板 的开口;
对所述开口和所述硅晶片的背表面整体施加具有1~12原子%硅 的铝浆料;和
对所述铝浆料实施热处理,其中将所述铝浆料加热至700~900℃ 的峰值温度。
19.根据权利要求18的方法,其中所述硅晶片为结晶硅晶片。
20.根据权利要求18的方法,其中所述硅晶片的厚度为50~500微米。
21.根据权利要求18的方法,其中移除所述背表面介电层的一部分 是通过丝网印刷蚀刻浆料并对所述蚀刻浆料进行热处理来实施的。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的