[发明专利]使用基于机械放大器的惯性马达的精确定位系统有效
申请号: | 200880016239.0 | 申请日: | 2008-03-12 |
公开(公告)号: | CN101681986A | 公开(公告)日: | 2010-03-24 |
发明(设计)人: | 弗兰克·克拉埃森;弗朗索瓦·巴里洛特 | 申请(专利权)人: | 锡德雷特技术公司 |
主分类号: | H01L41/09 | 分类号: | H01L41/09 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 葛 青 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 基于 机械 放大器 惯性 马达 精确 定位 系统 | ||
1.一种精确定位系统,包括:
第一惯性子组件(10,20,30,40,50,60,90abcd),包括至少一个压电激活 元件(2)和至少一个惯性点(B,B′,B″),且该子组件能沿作动方向(z)在作 动点(A,A1,A2)处产生冲击力和运动,其中所述惯性点(B,B′,B″)和所述作动 点(A,A1,A2)位于沿着所述作动方向(z)的轴线上,
第二相对驱动子组件(11,21,31,41,51,61,91),包括至少一个驱动构件 和一个被驱动构件,这两个构件中的一个经由作动点(A,A1,A2)固定到第一 惯性子组件(10,20,30,40,50,60,90abcd),
电子电路(100),用于根据预定激励循环对第一惯性子组件的每个压电 激活元件(2)供电,
其特征在于:
第一惯性子组件包括机械放大器(1),该机械放大器将压电激活元件(2) 的运动放大,
作动点(A,A1,A2)位于机械放大器(1)上,而不与压电激活元件(2) 直接接合,
驱动构件和被驱动构件是至少一个夹具(5,15,35,45,55,75,85abcd)和 一个被夹持元件(4,24,54,76,95)的形式,以允许滑动-粘附运动。
2.如权利要求1所述的系统,其特征是,压电激活元件(2)相对于第 一惯性子组件的运动方向正交地延伸,且机械放大器(1)通过菱形形状的 壳体形成,其内部长轴线包含被施加预应力的压电激活元件(2),且其活动 端位于短轴线上。
3.如权利要求1所述的系统,其特征是,第一惯性子组件(10,20,30,40, 50,60,90abcd)包括在惯性点(B)所在侧上的配重件(3,33,83)。
4.如权利要求3所述的系统,其特征是,机械放大器(1)和配重件(3, 33,83)形成单体部件。
5.如权利要求1所述的系统,其特征是,第二相对驱动子组件(11,21,31, 41)包括被夹持元件(4、24),该被夹持元件允许相对于夹具(5,15,35)的相 对平移运动,其中该被夹持元件(4、24)为轴。
6.如权利要求5所述的系统,其特征是,机械放大器(1)的所述惯性 点(B)或其伸长部(B’、B”)被引导平移。
7.如权利要求6所述的系统,其特征是,惯性点(B)的引导通过在轴 承(14、26)中滑动的轴(13、23)执行。
8.如权利要求5所述的系统,其特征是,配重件(33)通过联接件(31, 31b,32)固定到被夹持元件(4),该联接件沿作动方向(z)是柔性的且沿其 他方向是刚性的。
9.如权利要求5所述的系统,其特征是,夹具(15)通过被压在框架 (8)上的弹簧(7,27,27b)所压到被夹持构件(4,24)上的至少一个垫(6,6b, 16,16b,36,36b)来实现。
10.如权利要求5所述的系统,其特征是,夹具(15)包括两个垫(16、 16b),所述两个垫通过弹簧(29)彼此连接且被压到被夹持构件(24)上。
11.如权利要求5所述的系统,其特征是,夹具(5)通过被固定到被 夹持元件(4)的弹簧(37、37b)所压到框架(38)上的至少一个垫(36、 36b)来实现。
12.如权利要求9所述的系统,其特征是,垫(16,16b,36,36b)被沿作动 方向(z)是刚性的弹性连接联接件引导且在其他方向被柔性联接件引导。
13.如权利要求5所述的系统,其特征是,所述夹具通过挤压柔性密封 件(46)来实现。
14.如权利要求13所述的系统,其特征是,密封件(46)还执行紧密 功能。
15.如权利要求5所述的系统,其特征是,被夹持元件(4)用于打开 和关闭阀门。
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