[发明专利]用于使晶片暴置于液体中的设备和方法无效
| 申请号： | 200880016481.8 | 申请日： | 2008-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN101689524A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 埃里克·萨乌尔;罗博图斯·安东纽斯·斯蒂曼 | 申请（专利权）人： | 可再生能源公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;B65G15/44;B65G49/04;B65G49/07 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 张建涛;车 文 |
| 地址： | 挪威桑*** | 国省代码： | 挪威;NO |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 晶片 置于 液体 中的 设备 方法 | ||
1.用于将太阳能电池晶片暴置于液体中的设备，包括：
容器，所述容器填充有液体；
输送设备，所述输送设备用于将晶片输送穿过液体；以及
保持设备，所述保持设备用于与所述输送设备一起运送晶片并且将晶片浸没在液体中，其中所述保持设备具有T形的横截面。
2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述保持设备具有形成为彼此紧接的两个T形的横截面。
3.根据权利要求1-2中任一项所述的设备，其特征在于，所述输送设备和/或保持设备包括用于允许液体绕晶片循环且确保晶片上方和下方的液体良好混合的孔眼、网孔或开口。
4.根据权利要求1-2中任一项所述的设备，其特征在于，所述保持设备紧固到所述输送设备。
5.根据权利要求1-2中任一项所述的设备，其特征在于，所述输送设备包括将破裂的晶片推动到所述液体容器的一端的擦拭装置。
6.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述保持设备在所述输送设备上，其形成为使得所述输送设备的移动方向的急剧弯曲能够用于自动将晶片装载到一条或多条输送带上或者从一条或多条输送带上面卸载下来，所述输送带以与所述输送设备相同或相似的速度移动晶片。
7.根据权利要求1-2中任一项所述的设备，其特征在于，所述设备包括引导装置，以防止晶片从位置上向侧面滑出。
8.根据权利要求1-2中任一项所述的设备，其特征在于，所述设备包括流体控制装置，以在晶片的上方和下方提供近似对称的相对的液体流。
9.根据权利要求1-2中任一项所述的设备，其特征在于，所述保持设备具有朝向晶片的硬的耐磨的抛光表面，而后面的材料是较柔软的材料，以便为晶片提供减振的接触。
10.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，所述后面的材料是泡沫橡胶。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
