[发明专利]用于抛光垫的衬垫和使用该衬垫的抛光垫

权利要求书

1.一种用于抛光垫的衬垫，其中

在23℃、27.6kPa的静载荷、11Hz的频率和1μm的振幅的条件下进行动态压缩粘弹性测量时，

(1)动应力和变形之间的相位差为4°或更小，并且

(2)变形量的最大值与动应力的最大值的比[变形量的最大值]/[动应力的最大值]为0.5μm/kPa或更大。

2.权利要求1所述的用于抛光垫的衬垫，其中，

在50℃、27.6kPa的静载荷、11Hz的频率和1μm的振幅的条件下进行动态压缩粘弹性测量时，

(3)动应力和变形之间的相位差为4°或更小，并且

(4)变形量的最大值与动应力的最大值的比[变形量的最大值]/[动应力的最大值]为0.5-1.5μm/kPa。

3.权利要求1或2所述的用于抛光垫的衬垫，其中，

在23℃、27.6kPa的静载荷、88Hz的频率和1μm的振幅的条件下进行动态压缩粘弹性测量时，

(5)动应力和变形之间的相位差为8°或更小，并且

(6)变形量的最大值与动应力的最大值的比[变形量的最大值]/[动应力的最大值]为0.5-1.5μm/kPa。

4.一种抛光垫，其具有权利要求1-3中任一项所述的用于抛光垫的衬垫的层和抛光层。

5.权利要求4所述的抛光垫，其中，所述抛光层为具有非发泡结构的树脂层。

6.权利要求4或5所述的抛光垫，其中，所述抛光层包括聚合物材料，所述聚合物材料用50℃的水饱和溶胀后在50℃下的拉伸弹性模量为130-800MPa、在50℃下的损耗角正切为0.2或更小、并且与水的接触角为80°或更小。

7.权利要求4所述的抛光垫，其中，所述抛光层包括拉伸弹性模量的保持率为55％或更大的聚合物材料，所述拉伸弹性模量的保持率是通过用50℃的水饱和溶胀后在50℃下的拉伸弹性模量除以在20℃和65％RH的条件下放置后在50℃下的拉伸弹性模量并乘以100％得到的值。

8.权利要求4所述的抛光垫，其中，所述抛光层包括在23℃下的储能模量E’₂₃和在50℃下的储能模量E’₅₀的比E’₂₃/E’₅₀为1.8或更小的聚合物材料。

9.权利要求4所述的抛光垫，其中，所述抛光层包括通过将聚合物二醇、有机二异氰酸酯和扩链剂反应得到的聚氨酯。

10.权利要求9所述的抛光垫，其中，所述聚氨酯为来自有机二异氰酸酯的氮原子的含有率为4.8质量％或更大且小于6.0质量％的热塑性聚氨酯。