[发明专利]固体电解电容器的制造方法和装置

权利要求书

1.一种固体电解电容器的制造方法，通过在由具有细孔的阀作用金属烧结体构成的阳极体上形成电介质层，并在该电介质层上层叠导电性化合物层来形成阴极，该制造方法的特征在于，在重复进行在成为导电性化合物层的无机化合物溶液、有机化合物溶液或导电性高分子化合物分散液中浸渍阳极体从而层叠导电性化合物层的工序来形成阴极时，浸渍的次数每增加一次就加深使阳极体浸到所述溶液或分散液中的范围。

2.根据权利要求1所述的固体电解电容器的制造方法，其中，阀作用金属烧结体的平均细孔径不到0.5μm。

3.根据权利要求1所述的固体电解电容器的制造方法，其中，溶液或分散液的每一次浸渍时间是足够使液体利用毛细管现象浸透到阀作用金属烧结体内部的时间。

4.根据权利要求3所述的固体电解电容器的制造方法，其中，溶液或分散液的每一次浸渍时间为1～10分钟。

5.根据权利要求1～4的任一项所述的固体电解电容器的制造方法，其中，重复进行下述工序从而形成阴极，所述工序为在减压下多次对阳极体浸渍所述溶液或分散液，并进行热分解或干燥的工序。

6.根据权利要求1～4的任一项所述的固体电解电容器的制造方法，其中，重复进行在大气压下多次对阳极体浸渍所述溶液或分散液、并进行热分解或干燥的工序，从而形成阴极。

7.根据权利要求1所述的固体电解电容器的制造方法，其中，所述阀作用金属烧结体是选自钽粉、铌粉、以钽为主成分的合金粉、以铌为主成分的合金粉以及一氧化铌粉中的粉末的烧结体。

8.一种固体电解电容器，是采用权利要求1～7的任一项所述的方法制作的。

9.一种固体电解电容器的制造装置，是用于实施权利要求1～7的任一项所述的固体电解电容器的制造方法的装置，其特征在于，具有浸渍装置， 所述浸渍装置包括与外部气体隔断并使内部为减压的单元(1)和密闭槽，所述密闭槽在内部具有阳极体固定用的阳极体固定器(2)、阴极形成液槽(3)、能够使所述阳极体固定器(2)或阴极形成液槽(3)升降的升降单元(4)以及所述阴极形成液槽(3)的温度调节单元(5)。

10.根据权利要求9所述的装置，其中，阴极形成液槽(3)由能够防止由减压时的蒸发潜热引起的液温变化的可进行温度调节的夹套式结构构成。

11.根据权利要求9所述的装置，其中，阳极体固定器(2)的位置被固定，阴极形成槽(3)设置在升降装置(4)上。

12.根据权利要求9所述的装置，其中，阴极形成槽(3)的位置被固定，阳极体固定器(2)与升降装置(4)连接。

13.根据权利要求9～12的任一项所述的装置，其中，具有能够检测阴极形成槽(3)与阳极体固定器(2)之间的距离并控制浸渍距离的距离检测单元。