[发明专利]模具、其制造方法及具有转印微细图案的基材的制造方法

权利要求书

1.一种模具，它是用于对光固化性树脂进行成形的具有微细图案的模具，其特征在于，具有下述透明基体(A)、下述表面层(B)以及形成于所述透明基体(A)的表面且存在于所述透明基体(A)和所述表面层(B)之间的中间层(C)；

透明基体(A)：形成中间层(C)之前在将形成中间层(C)的表面具有官能团(x)，形成中间层(C)之后在形成有中间层(C)的表面具有基于所述官能团(x)和下述反应性基团(y)的化学键，其线膨胀系数与下述含氟聚合物(I)的线膨胀系数之间的差的绝对值不足30ppm/℃，且热变形温度为100～300℃的透明基体；

表面层(B)：由主链中具有含氟脂肪族环结构且实质上不具有下述反应性基团(y)的含氟聚合物(I)形成，在表面具有微细图案的层；

中间层(C)：由主链中具有含氟脂肪族环结构且具有与所述官能团(x)具反应性的反应性基团(y)的含氟聚合物(II)形成的层。

2.如权利要求1所述的模具，其特征在于，所述透明基体(A)的形状为平板状，所述透明基体(A)的厚度为0.4mm以上且不足20mm。

3.如权利要求1或2所述的模具，其特征在于，所述微细图案由凹凸结构构成，所述凹凸结构中的凸结构部的高度的平均值为1nm～500μm。

4.如权利要求1～3中的任一项所述的模具，其特征在于，所述官能团(x)为羟基、氨基或环氧乙烷基，所述反应性基团(y)为羧基。

5.如权利要求1～3中的任一项所述的模具，其特征在于，所述官能团(x)为羟基，所述反应性基团(y)为硅烷醇基或碳数1～4的烷氧基硅烷基。

6.如权利要求1～5中的任一项所述的模具，其特征在于，所述含氟共聚物(I)的固有粘度为0.1～1.0dL/g。

7.如权利要求1～6中的任一项所述的模具，其特征在于，所述含氟共聚物(II)的固有粘度为0.1～1.0dL/g。

8.如权利要求1～7中的任一项所述的模具，其特征在于，所述透明基体(A)在300～500nm的波长区域的光中的至少一部分的波长区域内透光率在75％以上。

9.如权利要求1～8中的任一项所述的模具，其特征在于，所述透明基体(A)为通过表面处理在表面引入有官能团(x)的透明基体。

10.一种模具的制造方法，它是用于对光固化性树脂进行成形的具有微细图案的模具的制造方法，其特征在于，包括以下的工序：在表面具有官能团(x)的下述透明基体(A)的所述表面涂布使下述含氟聚合物(II)溶解于含氟溶剂而得的溶液并干燥，形成由所述含氟聚合物(II)形成的中间层(C)的工序；在所述中间层(C)的表面涂布使下述含氟聚合物(I)溶解于含氟溶剂而得的溶液并干燥，形成由所述含氟聚合物(I)形成的层(B^P)的工序；将在表面具有微细图案的反转图案的母模的所述反转图案按压于所述层(B^P)的工序；将母模从所述层(B^P)分离，形成具有母模的转印微细图案的由所述含氟聚合物(I)形成的表面层(B)的工序；

透明基体(A)：在将形成中间层(C)的表面具有官能团(x)，其线膨胀系数与下述含氟聚合物(I)的线膨胀系数之间的差的绝对值不足30ppm/℃，且热变形温度为100～300℃的透明基体；

含氟聚合物(I)：主链中具有含氟脂肪族环结构且实质上不具有下述反应性基团(y)的含氟聚合物；

含氟聚合物(II)：主链中具有含氟脂肪族环结构且具有与所述官能团(x)具反应性的反应性基团(y)的含氟聚合物。

11.一种具有转印微细图案的基材的制造方法，其特征在于，包括以下的工序：将光固化性树脂配置于基材的表面的工序；将权利要求1～9中的任一项所述的模具按压于所述光固化性树脂，使所述模具的微细图案与所述光固化性树脂接触的工序；在将所述模具按压于所述光固化性树脂的状态下，对所述光固化性树脂照射光，使所述光固化性树脂固化而形成固化物的工序；将模具从所述固化物分离的工序。