[发明专利]制备和使用卤代甲硅烷基锗烷的新方法无效
申请号: | 200880017145.5 | 申请日: | 2008-04-02 |
公开(公告)号: | CN101678665A | 公开(公告)日: | 2010-03-24 |
发明(设计)人: | J·库维塔奇斯;J·泰斯;Y·方 | 申请(专利权)人: | 代表亚利桑那州立大学行事的亚利桑那董事会 |
主分类号: | B32B33/00 | 分类号: | B32B33/00;H01L21/20 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李 帆 |
地址: | 美国亚*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制备 使用 卤代甲 硅烷 基锗烷 新方法 | ||
1.式(I)的化合物的制备方法,
SixGeyHz-aXa (I)
其中x为1、2、3或4;y为1、2、3或4,z为2(x+y+1);a为1至z;以及X为卤素,条件是x与y之和小于或等于5,所述方法包括步骤:(i)在-80℃至25℃的温度下,用式BX3、AlX3的化合物、或者金属氯化剂处理分子式SixGeyHz的化合物。
2.权利要求1的方法,其中a为1至2(x+y)。
3.权利要求2的方法,其中a为1。
4.权利要求2的方法,其用于制备式SiGeyHz-aXa的化合物。
5.权利要求4的方法,其用于制备式SiGeyHz-aCla的化合物。
6.权利要求5的方法,其用于制备式SiGeH6-aCla的化合物。
7.权利要求1的方法,其中式(I)的化合物为
氯代(甲锗烷基)硅烷;
二氯代(甲锗烷基)硅烷;
氯代(二甲锗烷基)硅烷;
二氯代(二甲锗烷基)硅烷;
氯代(三甲锗烷基)硅烷;
1,2-二甲锗烷基-1-氯二硅烷;
1,2-二甲锗烷基-1,2-二氯二硅烷;
1,2-二甲锗烷基-1,1-二氯二硅烷;
氯代(氯代甲锗烷基)硅烷;
二氯代(氯代甲锗烷基)硅烷;
氯代(二氯代甲锗烷基)硅烷;或
二氯代(二氯代甲锗烷基)硅烷。
8.权利要求1-7任一项的方法,其进一步包括如下步骤
(ii)分馏步骤(i)的产物。
9.权利要求1-7任一项的方法,其中所述反应温度为-25℃至5℃。
10.权利要求1-4任一项的方法,其中式BX3的化合物为BCl3。
11.权利要求8的方法制成的基本上纯的化合物,该基本上纯的化合物是指化合物纯度大于90%。
12.权利要求11的基本上纯的化合物,其为氯代(甲锗烷基)硅烷或二氯代(甲锗烷基)硅烷。
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