[发明专利]用于修正发电机和非线性负载间的相互影响的方法和装置

权利要求书

1、一种用于修正发电机和与所述发电机的输出连接的非线性负载之间的相互影响的方法，所述方法包括：

在所述发电机的引擎的控制输入处接收主控制信号，所述主控制信号控制所述发电机向所述非线性负载输送的输出功率、输出电流和输出电压中的至少一个，所述引擎是功率放大器和转换器之一；

测量所述非线性负载的阻抗；以及

向所述发电机馈送对应于所测量的阻抗的补偿信号，所述补偿信号使得所述发电机的输出功率关于所述主控制信号的传递函数对所述非线性负载的阻抗的改变基本上不敏感，以稳定所述发电机的输出功率。

2、根据权利要求1所述的方法，其中，所述主控制信号和所述补偿信号之和被馈送到所述控制输入。

3、根据权利要求2所述的方法，其中，所述补偿信号是以下控制信号之间的差：一控制信号使得所述发电机在所述非线性负载的阻抗是所测量的阻抗时产生特定输出功率；而另一控制信号使得所述发电机产生所述特定输出功率来输送到参考阻抗中。

4、根据权利要求1所述的方法，其中，所述补偿信号被馈送到所述引擎的与所述控制输入分离的辅助控制输入。

5、根据权利要求4所述的方法，其中，所述辅助控制输入是偏压输入。

6、根据权利要求1所述的方法，其中，除了使得所述发电机的输出功率关于所述主控制信号的传递函数对所述非线性负载的阻抗的改变基本上不敏感之外，所述补偿信号还使得所述发电机以使用者指定的方式与所述非线性负载的阻抗发生相互影响。

7、根据权利要求1所述的方法，其中，所述发电机是射频发生器。

8、根据权利要求1所述的方法，其中，所述非线性负载包括等离子体。

9、一种用于修正发电机和与所述发电机的输出连接的非线性负载之间的相互影响的方法，所述方法包括：

测量所述非线性负载的阻抗；以及

向所述发电机的引擎的控制输入馈送主控制信号和补偿信号之和，所述引擎是功率放大器和转换器之一，

所述主控制信号控制所述发电机向所述非线性负载输送的输出功率、输出电流和输出电压中的至少一个，

所述补偿信号取决于所测量的阻抗，所述补偿信号是以下控制信号之间的差：一控制信号使得所述发电机在所述非线性负载的阻抗是所测量的阻抗时产生特定输出功率；而另一控制信号使得所述发电机产生所述特定输出功率来输送到参考阻抗中，

所述补偿信号使得所述发电机的输出功率关于所述主控制信号的传递函数对所述非线性负载的阻抗的改变基本上不敏感，以防止所述输出功率的不稳定性，否则，将由于所述发电机和所述非线性负载的阻抗之间的相互影响而导致所述输出功率的不稳定性。

10、一种用于修正发电机和与所述发电机的输出连接的非线性负载之间的相互影响的方法，所述方法包括：

在所述发电机的引擎的主控制输入处接收主控制信号，所述主控制信号控制所述发电机向所述非线性负载输送的输出功率、输出电流和输出电压中的至少一个，所述引擎是功率放大器和转换器之一；

测量所述非线性负载的阻抗；以及

向所述引擎的与所述主控制输入分离的辅助控制输入馈送补偿信号，所述补偿信号取决于所测量的阻抗，所述补偿信号使得所述发电机的输出功率关于所述主控制信号的传递函数对所述非线性负载的阻抗的改变基本上不敏感，以防止所述输出功率的不稳定性，否则，将由于所述发电机和所述非线性负载的阻抗之间的相互影响而导致所述输出功率的不稳定性。

11.一种发电机，包括：

引擎，包括控制输入，所述控制输入被配置来接收主控制信号，所述主控制信号控制所述发电机向与所述发电机的输出连接的非线性负载输送的输出功率、输出电流和输出电压中的至少一个，所述引擎是功率放大器和转换器之一；以及，

补偿子系统，包括：

阻抗测量电路，其测量所述非线性负载的阻抗；以及

补偿信号生成电路，其向所述发电机馈送对应于所测量的阻抗的补偿信号，所述补偿信号使得所述发电机的输出功率关于所述主控制信号的传递函数对所述非线性负载的阻抗的改变基本上不敏感，以稳定所述发电机的输出功率。