[发明专利]光伏工厂的设备工件传送中的批次设备机器臂和方法

权利要求书

1.一种光伏工件的批次传送设备，用来在处理工具中传送光伏工件，该 设备包含：

轨道，延伸在处理工具的多个腔室之间；

第一机器臂，与该轨道耦接，用于在该轨道上移动；

第一阵列末端作用器，设置在该第一机器臂上，该第一阵列末端作用器具 有多个第一指部，在所述第一指部间可放置有一个或多个工件，使得该第一阵 列末端作用器可沿着该轨道而在该处理工具内的多个腔室间移动；

第二机器臂，与该轨道耦接，用于沿着该轨道而移动；以及

第二阵列末端作用器，设置在该第二机器臂上，该第二阵列末端作用器具 有多个第二指部，且每个所述第二指部在共同轴上与相对应的第一指部对齐， 使得该第二阵列末端作用器可沿着与该第一阵列末端作用器相同的该轨道而 在该处理工具内的多个腔室间移动，且使得每个该第二阵列末端作用器与该第 一阵列末端作用器可移动进入共同腔室。

2.如权利要求1所述的设备，还包括：

多个举升销，其能够上升以从该第一阵列末端作用器或该第二阵列末端作 用器上举起所述光伏工件，所述举升销设置在该共同腔室内，其中所述举升销 的位置是对应于所述第一指部与所述第二指部的相邻指部间的区域。

3.如权利要求1所述的设备，其中所述第一指部是在该第一阵列末端作 用器的第一手部分处耦接在一起，其中所述第一指部延伸在该第一手部分的上 方。

4.如权利要求1所述的设备，其中所述第二指部是在该第二阵列末端作 用器的第二手部分处耦接在一起，其中所述第二指部延伸在该第二手部分的上 方。

5.一种传送光伏工件的方法，包含：

将其上设置有多个工件的第一阵列末端作用器从第一加载锁定腔室移动到 处理腔室内，该第一阵列末端作用器是沿着轨道移动；

通过升高多个举升销而将所述工件从该第一阵列末端作用器上举起；

将该第一阵列末端作用器沿着该轨道而缩回至该第一加载锁定腔室；

沿着该轨道将一第二阵列末端作用器从一第二加载锁定腔室移动到该处理 腔室内；

降低所述举升销以将所述工件放置在该第二阵列末端作用器上；以及

将该第二阵列末端作用器缩回至该第二加载锁定腔室。

6.如权利要求5所述的方法，其中该轨道是设置在该第一加载锁定腔室 和该处理腔室中。

7.如权利要求5所述的方法，其中该轨道是设置在该第一加载锁定腔室、 该第二加载锁定腔室和该处理腔室中，其中在该第一加载锁定腔室、该处理腔 室和该第二加载锁定腔室之间的该轨道是线性的。

8.如权利要求5所述的方法，其中缩回该第二阵列末端作用器的步骤包 括沿着该轨道缩回该第二阵列末端作用器。

9.如权利要求5所述的方法，其中该第一阵列末端作用器包含多个自该 第一阵列末端作用器延伸的指部，且每个所述工件与所述指部耦接，其中每个 所述指部是在共同轴上与该第二阵列末端作用器的相对应的指部对齐。

10.一种传送光伏工件的方法，包含：

沿着轨道在第一加载锁定腔室与处理腔室间移动第一阵列末端作用器，该 第一阵列末端作用器具有多个第一指部，在所述第一指部间设置有多个工件；

将所述工件设置在该处理腔室内的多个举升销上；

从该处理腔室内缩回该第一阵列末端作用器；

沿着该轨道而在第二加载锁定腔室与该处理腔室间移动第二阵列末端作用 器，该第二阵列末端作用器具有多个第二指部，且每个第二指部可沿着共同轴 与相对应的第一指部对齐；

从所述举升销上取回所述工件；以及

将该第二阵列末端作用器从该处理腔室缩回。

11.如权利要求10所述的方法，其中该轨道是设置在该第一加载锁定腔 室、该第二加载锁定腔室与该处理腔室内。