[发明专利]XY工作台动作执行器

说明书

技术领域

本发明涉及用于例如在各种检查装置、测量装置、输送装置等中使用、使对象物在XY平面内自由移动、进行定位的XY工作台动作执行器，详细地讲，涉及能够制作成非常薄型的XY工作台动作执行器。 

背景技术

已往，作为这种XY工作台动作执行器，在WO2005/124789(专利文献1)中公开了的结构已被众所周知。此专利文献1公开的XY工作台动作执行器，由固定在底座、立柱等上的固定板、相对于此固定板向X方向自由移动的中间板、相对于此中间板向Y方向自由移动的可动板构成，以上述可动板相对于固定板能够向X方向及Y方向自由移动的方式叠置三块板。 

上述固定板及可动板分别具有收容槽而形成为槽状，另一方面，上述中间板形成为游嵌于上述收容槽的矩形状。中间板的下半体经多个滚珠组装在固定板的收容槽内，并以在这样的收容槽内能向X方向自由移动的方式构成。另外，中间板的上半体经多个滚珠组装在可动板的收容槽内，并以可动板相对于中间板能向Y方向自由移动的方式构成。由此，最上位的可动板相对于最下位的固定板能够向X方向及Y方向自由移动。 

另外，在上述专利文献1中，作为使中间板相对于固定板向X方向仅进退任意量，使可动板相对于中间板向Y方向仅进退任意量的机构，表示了利用压电元件的超声波线性马达。此超声波线性马达，由通过压电元件形成行波的固定件、和由金属薄板形成而成为上述固定件的行走面的可动件构成。而且，上述固定件配置在形成于中 间板上的收容室内，另一方面，上述可动件在与固定件相向的位置安装在可动板或者固定板上，构筑了向X方向的驱动机构或者向Y方向的驱动机构。专利文献1：WO2005/124789 

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在专利文献1中公开的XY工作台动作执行器中，因为上述中间板具有游嵌于固定板及可动板的各自的收容槽内的矩形状，所以，如上述的超声波线性马达的固定件的那样，当将推动中间板或者可动板的驱动机构的一部分设置在中间板上时，需要切掉这样的中间板的一部分来形成收容室，存在着在中间板的加工上费工夫的问题。 

另外，在上述中间板上，因为搭载向X方向的驱动机构及向Y方向的驱动机构双方，所以为了避免中间板上的这些驱动机构彼此干涉，必须进行各驱动机构的小型化，难以将充分的推力赋予可动板。 

另一方面，如果从对可动板的X方向及Y方向的移动给予充分的推力和速度的观点出发，则作为上述驱动机构，可以考虑使用由磁性构件和线圈构件构成的线性马达，但在此情况下，需要考虑来自线圈构件的放热，将这样的线圈构件搭载在可动板或者固定板上，将磁性构件配置排列在中间板上。但是，上述中间板，因为具有游嵌于固定板及可动板的各自的收容槽内的矩形状，与固定板及可动板相比被形成得小一圈，所以，与此相应地，中间板中的磁性构件的配置排列长度变短，也存在着相对于固定板而言的中间板的行程范围、相对于中间板而言的可动板的行程范围受限制的问题。 

为了解决课题的手段

本发明是鉴于这样的问题作出的，其目的在于，提供一边能够达到显著的小型化，一边能够使可动板在XY平面内以充分的推 力自由移动且进行定位，同时，能够简单地且以低成本制作的XY工作台动作执行器。 

即，本发明的XY工作台动作执行器，所述XY工作台动作执行器由固定板、叠置在该固定板上同时相对于该固定板向X方向自由移动的中间板、叠置在该中间板上同时相对于该中间板向Y方向自由移动的可动板、相对于上述固定板向X方向推动中间板的X方向驱动机构、相对于上述中间板向Y方向推动上述可动板的Y方向驱动机构构成；上述固定板及可动板具有经收容槽相向的一对侧壁而分别形成为大致槽状，另一方面，上述中间板形成为大致平板状；通过使上述固定板及可动板的收容槽与上述中间板相向地将上述三者叠置，在固定板和中间板之间形成上述X方向驱动机构的收容室，同时，在中间板和可动板之间形成上述Y方向驱动机构的收容室。 

根据这样的本发明，通过将形成为槽状的固定板和形成为平板状的中间板叠置，在这些固定板和中间板之间形成X方向驱动机构的收容室，另一方面，通过将形成为槽状的可动板和形成为平板状的中间板叠置，在这些可动板和中间板之间形成Y方向驱动机构的收容室。因此，中间板可以是简单的平板状，由于不需要加工成为驱动机构的收容室的凹处，所以能够简单地且以低成本生产。