[发明专利]移动体装置、曝光装置及图案形成装置、以及器件制造方法

权利要求书

1.一种移动体装置，具备： 

移动体，沿既定平面在至少一轴方向上移动； 

第1测量装置，包含：通过一部分中包含第1光路的光路的第1测量光所照射的与上述既定平面平行地设于上述移动体的上面的透射型移动光栅、在该移动光栅中产生的衍射光所照射的与上述既定平面平行地设于上述移动体的上方的以上述一轴方向为周期方向的反射型固定光栅、以及将来自该固定光栅的衍射光经由上述移动光栅加以接收的受光系统，该第1测量装置用以测量上述移动体在上述一轴方向的位置信息，该第1光路与上述一轴方向平行； 

第2测量装置，将通过第2光路的笫2测量光照射于与上述一轴方向正交且设在上述移动体的侧面的反射面上，接收来自该反射面的反射光，从而测量上述移动体在上述一轴方向上的位置信息，该第2光路与接近或重叠于上述第1光路的上述一轴方向平行； 

上述第1测量装置具有光学构件，上述光学构件设在上述移动体且将上述光路弯折以从下方对上述移动光栅照射上述第1测量光。 

2.一种移动体装置，具备： 

移动体，沿既定平面在至少一轴方向上移动； 

第1测量装置，包含：通过第1光路的第1测量光所照射的与上述一轴方向正交且设于上述移动体的侧面的透射型移动光栅、在该移动光栅中产生的衍射光所照射的与上述既定平面平行地设于上述移动体的上方的以上述一轴方向为周期方向的反射型固定光栅、以及将来自该固定光栅的衍射光经由上述移动光栅加以接收的受光系统，该第1测量装置用以测量上述移动体在上述一轴方向的位置信息，该第1光路与上述一轴方向平行； 

第2测量装置，将通过第2光路的第2测量光照射于与上述一轴方向正交且设在设有上述移动光栅的上述移动体的侧面的反射面上，接收来自该反射面的反射光，从而测量上述移动体在上述一轴方向上 的位置信息，该第2光路与接近或重叠于上述笫1光路的上述一轴方向平行； 

上述笫1测量装置具有光学构件，上述光学构件设在上述移动体且将从上述移动光栅产生的衍射光的光路弯折向上述固定光栅。 

3.如权利要求2所述的移动体装置，其中，上述移动光栅的一面兼作为上述反射面。 

4.如权利要求1至3中任一项所述的移动体装置，其中，上述移动光栅与上述固定光栅相隔的距离，相对上述第1光路的距离充分短。 

5.如权利要求1至3中任一项所述的移动体装置，其中，上述移动光栅以和上述固定光栅的周期方向对应的方向为周期方向。 

6.如权利要求1至3中任一项所述的移动体装置，其中，上述移动光栅与上述反射面的至少一方设于上述光学构件的一面。 

7.如权利要求1至3中任一项所述的移动体装置，其中，上述第1及第2测量光从同一光源供应。 

8.如权利要求7所述的移动体装置，其中，上述反射面为半透射性的反射面； 

将从上述同一光源射出的光照射于上述反射面，将在该反射面上产生的透射光与反射光分别使用为上述第1、第2测量光。 

9.如权利要求1至3中任一项所述的移动体装置，其中，上述受光系统包含分别接收上述衍射光与上述反射光、并输出与上述第1及第2测量装置的测量结果对应的信号的笫1及第2受光元件。 

10.如权利要求1至3中任一项所述的移动体装置，其中，上述受光系统包含受光元件，该受光元件接收上述衍射光与上述反射光的合成光，并分别根据该合成光的强度及相位，输出与上述第1及第2测量装置的测量结果对应的信号。 

11.如权利要求1至3中任一项所述的移动体装置，其进一步具备： 

驱动装置，驱动上述移动体；以及 

控制装置，根据包含上述第1及第2测量装置的位置测量系统的测量结果控制上述驱动装置。