[发明专利]移动体驱动系统、图案形成装置、曝光装置及曝光方法、以及器件制造方法

权利要求书

1.一种移动体驱动系统，实质地沿既定平面驱动移动体，其特征 在于，具备：

第1标尺，以第1方向为长边方向配置在上述移动体所对向的与 上述既定平面平行的第1面上，形成有以上述第1方向或与该第1方 向垂直的第2方向为周期方向的第1光栅；

第2标尺，以上述第2方向为长边方向配置在上述第1面，形成 有周期方向与上述第1光栅正交的第2光栅；

测量系统，具有：第1读头群，包含以上述第2方向的位置不同 地配置在上述移动体的与上述既定平面实质平行的第2面，且以上述 第1光栅的周期方向为测量方向的多个第1读头；以及第2读头群， 包含以上述第1方向的位置不同地配置在上述移动体的上述第2面， 且以上述第2光栅的周期方向为测量方向的多个第2读头，该测量系 统根据对向于上述第1标尺的上述第1读头的输出与对向于上述第2 标尺的上述第2读头的输出，算出上述移动体在包含上述第1及第2 方向的上述既定平面内的至少两个自由度方向的位置信息；以及

驱动系统，根据上述测量系统所算出的位置信息，将上述移动体 沿上述既定平面驱动；

上述移动体在配置于上述第1面上的上述第1、第2标尺下方移 动，上述第1、第2读头群设于上述移动体。

2.如权利要求1所述的移动体驱动系统，其中，上述第1标尺具 有三个上述第1读头能同时对向的上述第2方向宽度；

上述测量系统，根据同时对向于上述第1标尺的至少两个第1读 头的输出与对向于上述第2标尺的上述第2读头的输出，算出上述移 动体在上述既定平面内的三个自由度方向的位置信息。

3.如权利要求1所述的移动体驱动系统，其中，上述第1标尺， 在上述第1面上，将长边方向朝向上述第1方向相隔既定间隔配置有 一对；

上述第1读头群，在测量上述移动体于上述既定平面内的三个自 由度方向的位置信息时，以至少各一个第1读头能同时对向于上述一 对第1标尺的各标尺的配置，配置于上述移动体的上述第2面；

上述测量系统，根据同时对向于上述一对第1标尺的各标尺的两 个第1读头的输出与对向于上述第2标尺的上述第2读头的输出，算 出上述移动体在上述既定平面内的三个自由度方向的位置信息。

4.如权利要求1所述的移动体驱动系统，其中，上述第2标尺， 在上述第1面上，将长边方向朝向上述第2方向相隔既定间隔配置有 一对；

上述第2读头群，在测量上述移动体于上述既定平面内的三个自 由度方向的位置信息时，以至少各一个第2读头能同时对向于上述一 对第2标尺的各标尺的配置，配置于上述移动体的上述第2面；

上述测量系统，根据同时对向于上述一对第1标尺的各标尺的两 个第1读头的输出与同时对向于上述一对第2标尺的各标尺的两个第 2读头的输出，算出上述移动体在上述既定平面内的三个自由度方向 的位置信息。

5.一种移动体驱动系统，实质地沿既定平面驱动移动体，其特征 在于，具备：

标尺，以第1方向为长边方向配置在上述移动体所对向的与上述 既定平面平行的第1面上，形成有以上述第1方向及与上述第1方向 垂直的第2方向为周期方向的二维光栅；

测量系统，具有以上述第2方向的位置不同地配置在上述移动体 的与上述既定平面实质平行的第2面，且以上述第1、第2方向为测 量方向的多个二维读头，根据对向于上述标尺的二维读头的输出，算 出上述移动体在包含上述第1及第2方向的上述既定平面内的至少两 个自由度方向的位置信息；以及

驱动系统，根据上述测量系统所算出的位置信息，将上述移动体 沿上述既定平面驱动；

上述移动体在配置于上述第1面上的上述标尺下方移动，上述多 个二维读头设于上述移动体。

6.如权利要求5所述的移动体驱动系统，其中，上述标尺具有三 个上述二维读头能同时对向的上述第2方向宽度；

上述测量系统，根据同时对向于上述标尺的至少两个二维读头的 输出，算出上述移动体在上述既定平面内的三个自由度方向的位置信 息。