[发明专利]具有提高的寿命和溅射均匀度的溅射靶材

权利要求书

1.一种用于溅射腔室的溅射靶材，所述溅射靶材包括：

(a)第一材料的背板，所述背板包含圆形板，所述圆形板具有正面与背 面，所述正面包含环形凹槽；

(b)第二材料的溅射板，所述第二材料不同于所述第一材料，所述溅 射板安装在所述背板上，所述溅射板包含圆盘，所述圆盘包括(i)溅射面和(ii) 背面，所述圆盘的背面具有环形凸脊，所述环形凸脊的形状与尺寸塑造成能使 所述环形凸脊安装在所述环形凹槽中；以及

(c)第三材料的环，所述第三材料不同于所述第一和第二材料，所述环 设置在所述环形凹槽中，其中所述第三材料具有与所述第二材料和第一材料不 同的电磁特性。

2.如权利要求1所述的靶材，其中所述环形凹槽包含下列特性中的至少 一个：

(i)所述环形凹槽具有沿着所述背板的所述圆形板中心的对称轴；以及

(ii)所述环形凹槽包括相对于所述圆形板的中心对称并且与所述圆形 板的边缘间隔开来的圆形。

3.如权利要求1所述的靶材，其中所述环形凹槽包含下列至少其中之一：

(a)小于5厘米的深度；

(b)1厘米至7.5厘米的宽度；以及

(c)所述环形凹槽具有内半径与外半径，并且所述内半径与所述外半径 相差1厘米至5厘米。

4.如权利要求3所述的靶材，其中所述环形凹槽的深度为0.3厘米至2 厘米。

5.如权利要求1所述的靶材，其中所述背板的所述圆形板的所述正面包 括多个环形凹槽，并且所述溅射板的所述圆盘的所述背面包含多个环形凸脊， 每个环形凸脊的形状与尺寸塑造成能使每个环形凸脊安装在所述背板的其中 一个环形凹槽中。

6.如权利要求5所述的靶材，其中所述环形凹槽绕着所述溅射板的中心 以彼此同心的方式设置。

7.如权利要求1所述的靶材，其中所述第三材料是铁磁材料。

8.如权利要求1所述的靶材，其中所述环包含下列特性的至少其中一个：

(i)所述环的形状塑造成条带状或螺旋状；以及

(ii)所述环是通过黏着剂、扩散连接或电沉积而黏着至所述背板。

9.如权利要求1所述的靶材，所述靶材包括多个环。

10.一种溅射腔室，所述溅射腔室包括：

(a)权利要求1所述的溅射靶材；

(b)基板支撑件，所述基板支撑件面对所述溅射靶材；

(c)磁场产生器，所述磁场产生器包含多个可旋转磁体，所述多个可旋 转磁体设置在所述背板的背面附近；

(d)气体分散器，所述气体分散器用以引导气体进入所述溅射腔室中； 以及

(e)排气口，所述排气口用以排放所述溅射腔室中的气体。

11.一种延长溅射靶材寿命的方法，且所述溅射靶材包含安装在背板上的 溅射板，所述方法包括：

(a)提供包含第一材料的背板，所述背板包含圆形板；

(b)在所述背板的表面中形成环形凹槽；以及

(c)在所述环形凹槽中提供第二和第三材料，所述第二材料是溅射材 料，所述第三材料位于所述第一和第二材料之间，且

其中所述第一、第二和第三材料互不相同，和

其中所述第三材料具有与所述第二材料和第一材料不同的电磁特性。

12.如权利要求11所述的方法，包括形成具有至少其中一个下列特性的 环形凹槽：

(i)所述环形凹槽具有沿着所述背板的所述圆形板的中心的对称轴；以 及

(ii)所述环形凹槽包括相对于所述背板的所述圆形板的中心呈对称性 的圆形。

13.如权利要求11所述的方法，包括：

(i)在所述背板的正面上形成多个环形凹槽；以及

(ii)在溅射板的背面上形成多个包含所述第二材料的环形凸脊，并且 每个环形凸脊的形状与尺寸塑造成能使每个环形凸脊安装在所述背板的其中 一个环形凹槽中。