[发明专利]薄膜太阳电池制造系统以及共用基板保管架

说明书

技术领域

本发明涉及薄膜太阳电池制造系统以及在薄膜太阳电池制造中使用 的共用基板保管架。

背景技术

作为太阳电池公知有薄膜太阳电池。薄膜太阳电池主要由模块化工序 和面板化工序进行制造。在模块化工序中，一边在玻璃基板上对透明电极 层、光电变换层以及背面电极层进行制膜、一边对各个层进行激光刻蚀， 由此使单元集成化构成模块。在面板化工序中，利用粘接板(EVA)和背板 来覆盖该模块并设置端子箱以构成面板。这样，采用多个处理装置经过复 杂的处理工序来制造薄膜太阳电池。

作为制造这样的薄膜太阳电池的系统，在日本特开2005-235904号 公报中公开了薄膜太阳电池制造系统。图1是示出该薄膜太阳电池制造系 统的实施例的结构图。沿着基板的流向来说明该薄膜太阳电池制造系统中 的非晶硅太阳电池制造时的各工序设备的配置。首先，作为模块化工序， 在一般气氛环境131中被放入基板搬入装置101的玻璃基板经过基板洗净 器102、管理器103、透明电极制膜装置104以及基板洗净器105实施了 各种处理等后，利用基板输送器106向洁净室130内输送。然后，在激光 刻蚀装置107、基板洗净器108、基板输送器109、非晶硅膜制膜装置(等 离子CVD装置)110、基板输送器111、激光刻蚀装置112、背面电极制膜 装置113、基板输送器114、基板洗净器115、背面激光刻蚀装置116、基 板输送器117、发电检查装置118、基板缓冲装置148中实施各种处理等。 通过以上步骤来完成模块。接着，作为面板化工序，在将模块经由基板输 送器119向一般气氛环境132输送后，利用膜研磨装置120、基板洗净器 121、贮存(レイアツプ)装置122、层压装置123、面板化装置124、端 子台安装装置125、基板输送器126以及发电检查装置127实施了各种处 理等，然后在性能分类保管库128中进行分类。通过以上步骤来完成面板。

这样，各处理装置以S字状的蛇形线进行排列，各处理装置依次利用 基板输送器进行连接。在该薄膜太阳电池制造系统中，作为伴随各处理装 置的处理间歇差及维护周期的基板滞留用缓冲器，基本上针对每个处理装 置(每个制造工序)都设置有临时保管基板的基板盒140。图2是表示该基 板盒的结构图。在基板盒140中横向水平地存储基板100并水平保管。该 基板盒140可通过桥式起重机(未图示)来输送。

作为关联技术在日本特开平8-139153号公报中公开了枚页式基板处 理装置，基板输送装置以及盒。该枚页式基板处理装置1是以倾斜姿势取 出在盒中收纳的基板并对基板逐一地进行多个基板处理后再将基板放回 盒中的装置。具有：载置盒的盒载置台；用于交接基板的第1基板交接部； 在盒载置台所载置的盒与第1基板交接部之间保持纵姿势逐一地输送基板 的送片机器人(indexer robot)；对基板倾斜姿势地进行处理的多个处理部； 以及在第1基板交接部与各处理部之间以倾斜姿势保持并输送基板的基板 输送机器人。并且，记载了利用倾斜收纳基板的盒来缩小占有面积的情况； 通过倾斜地输送基板来缩小输送空间的情况。

另外，在日本特开平10-123193号公报中公开了显示面板基板的检 查装置以及检查方法。该检查装置使工作台所载置的显示面板基板的电极 与探针接触来检查上述显示面板基板。该检查装置具有盒、工作台、基板 输送机构以及探针单元。盒以相对于水平面呈65～80°的倾斜角度收纳多 个显示面板基板。工作台中用于载置显示面板基板的载置面相对于水平面 呈上述倾斜角度倾斜。基板输送机构可以从上述盒中逐一地取出倾斜状态 的显示面板基板并保持该倾斜状态输送至上述工作台。探针单元与上述工 作台的载置面对置地配置。并且，记载了通过水平倾斜60～80°地收纳基 板的盒来降低占有面积的情况；抑制基板变形的情况。

另外，在日本特开2001-291765号公报中公开了基板收容箱以及处 理系统。该基板收容箱具备：箱体，其构成为具有可气密地收容一片被处 理基板的内部空间，且上述内部空间的上表面、侧面或底面的任意一个可 开闭；以及支持部件，其设置在上述箱体内，用于以垂直或倾斜站立的状 态支持上述被处理基板。并且还有在防尘用基板收容箱内倾斜保持着基板 的移动系统的记载。