[发明专利]兼容无定形碳光学吸收层的用于激光退火系统的高温计

权利要求书

1.一种用于热处理工件的处理系统，包括：

激光辐射源，其具有约805nm到约815nm之间的激光波长；

光束分离构件，其具有反射表面，所述激光辐射源位于所述反射表面 的第一侧；

衬底支撑；

投射光学元件，其布置在所述反射表面的所述第一侧与所述衬底支撑 之间，所述反射表面和所述投射光学元件中的至少一者包括具有位于约 855nm或之上并且位于所述激光波长以上的荧光波长波段的材料；

高温计，位于与所述第一侧相反的所述反射表面的第二侧上，所述高 温计对于在以下波段内的波长敏感，所述波段位于(a)所述激光辐射波 长与(b)所述荧光波长波段之间，其中，所述投射光学元件将所述衬底 被热处理的区域成像在所述高温计上；以及

剃刀边缘滤波器，其处于到达所述高温计的光路中并具有截止波长边 缘跃变，所述滤波器调整频率以阻挡位于所述边缘跃变以下的波长并且使 所述边缘跃变以上的波长通过，所述边缘跃变小于10nm宽，所述边缘跃 变在所述激光波长以上并在所述高温计波长以下；

高温计滤波器，其具有位于所述荧光波长以下的通带。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，被处理的所述衬底由光学吸收 器层覆盖，所述光学吸收器层包括无定形碳层，所述高温计滤波器的通带 位于所述无定形碳层在此处具有至少与所述衬底一样大的吸收系数的波长 范围内。

3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述高温计滤波器的通带位于 所述无定形碳层在此处具有大于所述衬底的吸收系数的波长范围内。

4.根据权利要求2所述的系统，其中，所述边缘跃变的宽度在约5nm 到约8nm之间，其中，所述剃刀边缘滤波器在所述截止波长以上的波长处 约为100％透过，并且在所述截止波长以下具有约10^-6的衰减。

5.根据权利要求4所述的系统，其中，所述激光波长与所述截止波长 边缘跃变相隔在约5nm之内。

6.根据权利要求4所述的系统，其中，所述激光波长约为810nm，所 述荧光发射在从约860nm开始并且在约950nm处到达峰值的波长范围 内，所述高温计滤波器的通带位于约820nm到约860nm之间，所述剃刀 边缘滤波器的截止波长边缘跃变在815nm附近。

7.根据权利要求1所述的系统，所述高温计包括光电探测器以及陷波 滤波器，所述陷波滤波器使所述高温计波长通过并且不让所述激光波长通 过。

8.根据权利要求1所述的系统，其中，所述投射光学元件将所述激光 波长辐射的线光束投射到所述衬底上，所述系统还包括：

线光束扫描设备，其具有与所述线光束横切的快轴。

9.根据权利要求1所述的系统，还包括激光滤波器，其阻挡在所述高 温计滤波器的通带内的波长，所述激光滤波器位于包括所述激光辐射源和 所述投射光学元件的光路中，使其阻挡在所述通带内的激光辐射的成分到 达所述高温计。

10.根据权利要求1所述的系统，其中，所述反射表面和所述投射光 学元件中的至少一者是由熔凝光学石英材料制成。