[发明专利]将溶质沉积至金属线上的方法

权利要求书

1.将溶质(34)沉积至金属线(4)上的方法，其特征在于该方法包 含如下步骤，其中：

将由挥发性溶剂和所述溶质(34)形成的液体溶液(3)沉积至所 述线(4)上；然后

将所述线(4)的温度迅速升高至所述溶剂的挥发温度以上的温度， 从而将与所述线(4)的表面接触的溶剂蒸发并形成蒸汽泡(32)，该 蒸汽泡通过膨胀而产生将残留在所述线周边的液体(33)喷出的压力 脉冲。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述金属线(4)的温度通过高 频电感应加热器(5)升高。

3.根据权利要求2所述的方法，其中对于在溶剂中给定的溶质浓度， 沉积于所述线上的溶质的量反比于加热器的耗散功率。

4.根据权利要求3所述的方法，其中沉积于所述线上的溶质的量通过 改变加热体系的耗散功率而进行调节。

5.根据权利要求1至4任一项所述的方法，其中在将所述液体溶液(3) 沉积至所述线上的步骤中，使该液体溶液达到略低于溶剂的挥发温度 的温度。

6.根据权利要求1至4任一项所述的方法，其中所述液体溶液(3) 由与水混合的硅烷形成。