[发明专利]悬式膜压力传感阵列

权利要求书

1.一种制作电容性多维传感装置的方法，所述方法包括：

提供具有多个伸长的衬底电极的衬底、包括一个或更多个分隔件和一个或 更多个开放部分的分隔层、以及具有多个伸长的膜电极的膜；

使所述膜相对于所述衬底来取向以使得所述多个伸长的膜电极里至少两 个之中的每一个与所述多个衬底电极里至少两个之中的每一个交叉，从而形成 多维电容性元件阵列，并且使得所述分隔层的开放部分与所述电容性元件对 齐；以及

将所述分隔层贴附到所述膜。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分隔件包括非顺应性材 料。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括将所述一个或更 多个分隔件贴附到所述衬底。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述提供具有多个伸长的衬 底电极的衬底、包括一个或更多个分隔件和一个或更多个开放部分的分隔层、 以及具有多个伸长的膜电极的膜包括：在所述衬底上沉积所述一个或更多个分 隔件的至少一部分。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述提供具有多个伸长的衬 底电极的衬底、包括一个或更多个分隔件和一个或更多个开放部分的分隔层、 以及具有多个伸长的膜电极的膜包括：

提供衬底主体；以及

在所述衬底主体中形成由脊分隔的槽，其中所述脊形成所述一个或更多个 分隔件的至少一部分。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述提供具有多个伸长的衬 底电极的衬底、包括一个或更多个分隔件和一个或更多个开放部分的分隔层、 以及具有多个伸长的膜电极的膜包括：

提供衬底主体；以及

在所述衬底主体上沉积非导电层。

7.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述提供具有多个伸长的衬 底电极的衬底、包括一个或更多个分隔件和一个或更多个开放部分的分隔层、 以及具有多个伸长的膜电极的膜包括：在所述槽中沉积导电膜以形成衬底电 极。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衬底是圆柱形的。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述提供具有多个伸长的衬 底电极的衬底、包括一个或更多个分隔件和一个或更多个开放部分的分隔层、 以及具有多个伸长的膜电极的膜包括：使用柔性电路工艺在柔性膜上图案化出 导电电极。

10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述膜包括聚酰亚胺和/或 聚对苯二甲酸乙二醇酯。

11.如权利要求1所述的方法，其特征在于，其特征在于，所述提供具有 多个伸长的衬底电极的衬底、包括一个或更多个分隔件和一个或更多个开放部 分的分隔层、以及具有多个伸长的膜电极的膜包括：在所述膜中形成多个缝隙。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，所述缝隙被配置成取向为 垂直于所述分隔件的取向。

13.如权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括将隔片元件定位 在所述分隔层的开放部分中。

14.如权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括在所述衬底、所 述分隔层、以及所述膜被连接之后从所述分隔层的开放部分移除临时隔片。

15.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分隔件在所述膜被贴附 到所述分隔层时不塑性形变。