[发明专利]用于制造位移刻度尺的系统和方法有效
申请号: | 200880021241.7 | 申请日: | 2008-06-18 |
公开(公告)号: | CN101688794A | 公开(公告)日: | 2010-03-31 |
发明(设计)人: | 丹尼尔·H·卡尔森;达莱·L·埃内斯;丹尼尔·S·沃茨;路易斯·A·阿吉雷;利文特·伯耶克勒;艾伦·B·坎贝尔 | 申请(专利权)人: | 3M创新有限公司 |
主分类号: | G01D5/34 | 分类号: | G01D5/34;G01B11/02;G02B5/04;G03F9/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 梁晓广;关兆辉 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 位移 刻度尺 系统 方法 | ||
1.一种用于在基底上形成位移刻度尺的系统,包括:
一个或多个辊,所述一个或多个辊具有负突起形式的全内反射棱 镜特征;以及
驱动机构,所述驱动机构被构造用于旋转所述辊,使得包括全内 反射棱镜特征的位移刻度尺在所述基底上形成。
2.根据权利要求1所述的系统,其中所述辊还具有负突起形式的 图案特征,并且所述辊的旋转在所述基底上同时形成所述位移刻度尺 和所述图案特征。
3.根据权利要求1所述的系统,还包括被构造用于将材料分配在 所述基底的表面上的分配器,并且其中所述辊的旋转在所述基底上的 材料中形成包括所述全内反射棱镜特征的所述位移刻度尺。
4.根据权利要求3所述的系统,其中所述材料包括UV固化型树 脂。
5.根据权利要求3所述的系统,其中所述材料包括浇注型聚合物。
6.根据权利要求3所述的系统,其中所述材料包括可固化材料。
7.根据权利要求3所述的系统,还包括被构造用于固化所述刻度 尺的所述全内反射棱镜特征的固化站。
8.根据权利要求7所述的系统,其中所述固化站包括UV光源。
9.根据权利要求7所述的系统,其中:
所述材料包括热固化型材料;并且
所述固化站包括热源。
10.根据权利要求1所述的系统,还包括:
一个或多个另外的辊,所述一个或多个另外的辊包括负突起形式 的另外的图案特征;以及
另外的驱动机构,所述另外的驱动机构被构造用于旋转所述一个 或多个另外的辊,使得所述另外的图案特征形成在所述基底上与所述 位移刻度尺不同的横向位置中。
11.根据权利要求10所述的系统,其中所述另外的图案特征在形 成所述位移刻度尺的同时形成。
12.根据权利要求10所述的系统,其中:
所述一个或多个辊还具有负突起形式的第一组图案特征,并且所 述辊的旋转在所述基底上同时形成所述位移刻度尺和所述第一组图案 特征;以及
所述刻度尺被构造为便于转印所述另外的图案特征以对准所述 第一组图案特征。
13.根据权利要求1所述的系统,其中所述基底包含柔性幅材。
14.根据权利要求1所述的系统,其中所述基底包含刚性材料。
15.根据权利要求1所述的系统,其中所述基底包含聚合物。
16.根据权利要求1所述的系统,其中所述位移刻度尺包括被构 造用于测量横向位移的第一组全内反射棱镜和被构造用于测量纵向位 移的第二组全内反射棱镜。
17.根据权利要求1所述的系统,其中所述位移刻度尺被构造用 于测量角位移。
18.一种在基底上形成包括全内反射棱镜特征的位移刻度尺的方 法,包括:
使所述基底与所述一个或多个辊接触或贴近,所述一个或多个辊 具有负突起形式的全内反射棱镜特征;以及
相对于所述基底旋转所述辊,使得包括全内反射棱镜特征的位移 刻度尺在所述基底的表面上形成。
19.根据权利要求18所述的方法,还包括:
将材料分配在所述基底的表面上;以及
其中旋转所述辊使得刻度尺形成的步骤包括旋转所述辊使得全 内反射棱镜特征在所述材料中形成。
20.根据权利要求18所述的方法,还包括在形成所述全内反射棱 镜特征的同时但是在所述基底上与所述全内反射棱镜特征不同的横向 部分上形成第一图案特征。
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