[发明专利]清洁方法及装置

权利要求书

1.一种用于清洁多个基片的清洁模块，该模块包括：

用于以预定间隔开的关系支撑所述基片的托盘；

位于第一站的第一多个刷，每个刷对应所述多个基片中的一个；

还包括位于第二站的第二多个刷，及

用于将所述托盘从所述第一站移动到所述第二站的传送机；

其中，每个刷可操作以关于各基片沿径向路径移动。

2.根据权利要求1所述的清洁模块，其中，所述托盘支撑所述基片使 得由所述基片限定的平面是平行的。

3.根据权利要求1所述的清洁模块，还包括多个周边刷，用于清洁每 个基片的外缘，以及多个内刷，用于清洁每个基片的孔的边缘；

所述多个周边刷和内刷位于在所述第一和第二站中间的第三站；

其中，所述传送机还适于将所述托盘从所述第一站移动到所述第三站 然后移动到所述第二站。

4.一种清洁多个基片的方法，该方法包括下列步骤：

通过托盘以预定间隔开的关系支撑所述基片；

位于第一站的第一多个刷关于所述基片沿径向路径并将所述刷的擦 洗部分与基片的对应部分重叠移动，每个刷对应所述多个基片中的一个；

将所述托盘从所述第一站移动到第二站；

位于第二站的第二多个刷关于所述基片沿径向路径并将所述刷的擦 洗部分与基片的对应部分重叠移动，每个刷对应所述多个基片中的一个。

5.根据权利要求4所述的方法，该方法还包括旋转所述基片的步骤。

6.根据权利要求5所述的方法，还包括旋转所述刷的步骤。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述基片和所述刷在同一方向旋 转。

8.根据权利要求4所述的方法，还包括与所述基片的边缘相邻地移动 多个周边刷的步骤。

9.根据权利要求4所述的方法，还包括与所述基片中的孔的边缘相 邻地移动多个内刷的步骤。