[发明专利]用于检测激光束在物体的棱边上的接触点的方法和激光加工机

权利要求书

1.用于检测聚焦的脉冲激光束（3）在物体（12，21）的棱边（20， 22）上的接触点（B1至B6）的方法，该方法包括以下步骤：

a）使激光束（3）相对于棱边（20，22）在至少一个空间方向（X，Y） 上与激光束轴（15）成直角地运动，直至所述激光束（3）扫过所述棱边（20， 22），

b）测量在激光束（3）的运动过程中由所述激光束（3）光声地产生的 声学振动，和

c）通过分析处理测得的声学振动来检测所述激光束（3）在所述棱边 （20，22）上的接触点（B1至B6）。

2.如权利要求1的方法，还包括以下步骤：

调节所述激光束（3）的焦点（F）在激光束轴（15）的方向上的位置， 并且，重复所述步骤a）至c）。

3.如权利要求1或2的方法，在该方法中，为了检测所述棱边（20， 22）上的接触点（B1至B6），与位置相关地测量在所述棱边（20，22）上 在侧沿（19a，19b）中上升的振动功率，并且，将所述接触点（B1至B6） 对应于最大振动功率（M1，M2）的给定的百分比。

4.如权利要求1或2的方法，在该方法中，所述棱边（20，22）形成 在物体（12，21）的孔（14，23）上，所述激光束（3）在第一空间方向（X） 上完全扫过所述孔（14，23），其中，检测在所述孔（14，23）的棱边（20， 22）上的两个相对置的接触点（B1，B2；B5，B6），并且，借助检测到的 两个接触点（B1，B2；B5，B6）确定所述激光束（3）在孔（14，23）中 的实际位置或应有位置（S1，S3）。

5.如权利要求4的方法，在该方法中，在确定了位于所述两个接触点 （B1，B2；B5，B6）之间的中心上的应有位置（S1；S3）之后，使所述 激光束（3）运动到所述应有位置（S1；S3）。

6.如权利要求4的方法，在该方法中，由所述两个接触点（B1，B2； B5，B6）之间在第一空间方向（X）上的间距和另外两个接触点（B3，B4） 之间在第二空间方向（Y）上的间距确定所述孔（14，23）的横截面尺寸。

7.如权利要求4的方法，在该方法中，由所述激光束（3）从运动的 起始点（SP）直至所述两个相对置的接触点（B1，B2）的相应运动路程确 定所述激光束（3）的直径。

8.如权利要求1的方法，其特征在于，所述棱边（20，22）构造在激 光加工喷嘴（11）的喷嘴体（12）中的孔（14，23）上。

9.如权利要求1的方法，在该方法中，所述激光束（3）相对于位置 固定的棱边（20，22）运动，其方式是一个在射束通路上设置在所述棱边 （20，22）前面的光学聚焦装置（10）倾斜和/或横向于激光束轴（15）地 移动，和/或，至少一个在射束通路上设置在所述棱边（20，22）前面的转 向镜（9.1，9.2）倾斜或者改变所述转向镜（9.1，9.2）的曲率半径。

10.如权利要求1的方法，在该方法中，借助至少一个声学传感器（16， 16’）测量所述振动。

11.如权利要求10的方法，在该方法中，所述至少一个声学传感器（16， 16’）为麦克风（16）。

12.如权利要求1的方法，在该方法中，在分析处理所测得的振动时， 将所述振动的特性与脉冲激光束（3）的特征量进行比较。

13.如权利要求1的方法，在该方法中，在保护气体下进行所述运动 和所述测量。

14.如权利要求1的方法，在该方法中，由在射束通路中设置在喷嘴 体（12）之后的物体（21）产生所测得的振动。

15.如权利要求14的方法，其特征在于，所述物体（21）为板状。