[发明专利]微机电系统和采用该微机电系统的光子互连

权利要求书

1.一种微机电系统(600)，包括：

膜(602)，其具有被配置成反射电磁辐射束的柔性凹表面；

衍射光栅(606)，其被配置成将从所述膜反射的所述电磁辐射束分成一个或多个电磁辐射束；以及

膜致动器系统(604)，其在操作中耦合到所述膜，所述膜致动器系统用于改变所述膜的曲率并将所述电磁辐射束引导到所述衍射光栅上。

2.如权利要求1所述的系统，还包括在操作中耦合到所述衍射光栅的光栅致动器系统(608)，所述光栅致动器系统用于改变所述衍射光栅的方位以控制所述一个或多个分开的交替电磁辐射束的方向。

3.如权利要求2所述的系统，其中所述衍射光栅还包括下述项的其中之一：

具有一维衍射元件阵列的表面；

具有二维衍射元件阵列的表面；以及

光栅光阀。

4.如权利要求1所述的系统，其中从垂直腔表面发射激光器发射所述电磁辐射束。

5.如权利要求1所述的系统，其中所述膜还包括下述项的其中之

凹面布拉格镜；以及

凹面镀银膜。

6.如权利要求1所述的系统，其中所述膜致动器系统还包括如下述项的其中之一：

泵(1114)和储存器(1110)，所述储存器装有流体并流体耦合到所述膜(602)，所述泵对所述流体施加压力以改变所述膜的曲率和所述电磁辐射束的方向；

泵(1102)和弯曲部(1104-1106)，所述弯曲部耦合到所述膜，所述泵对所述弯曲部施加压力以改变所述膜的曲率和所述电磁辐射束的方向；以及

电压源(1120)和电极(1122)，所述电极位于与所述膜的反射表面相对的所述膜的一侧上，所述电压源向所述电极提供偏压以产生静电排斥力来改变所述膜的曲率和所述电磁辐射束的方向。

7.一种微机电系统(1700)，包括：

透镜结构(1704)，其包含具有柔性弯曲表面的基本透明膜(1710)和装有流体并且流体耦合到所述膜的储存器(1708、1712)；以及

致动器系统，其在操作中耦合到所述储存器，所述致动器系统用于对所述流体施加压力以改变所述膜的曲率和所述透镜结构的焦点。

8.如权利要求7所述的系统，其中所述透明膜和填充有流体的储存器形成双曲透镜。

9.如权利要求7所述的系统，其中所述膜致动器系统还包括：

滑阀，其流体耦合到所述储存器；以及

泵(1714)，其在操作中耦合到所述滑阀，所述泵用于对所述滑阀施加压力，所述滑阀又对所述流体施加压力以改变所述膜的曲率和所述透镜结构的焦点。

10.如权利要求7所述的系统，还包括在操作中耦合到所述膜致动器系统的电机(1718)，所述电机用于通过相对于电磁辐射源改变所述透镜结构的位置来改变所述透镜的焦点。