[发明专利]含耐溶剂性聚（乙烯醇缩醛）的辐射敏感性组合物和元件

权利要求书

1.一种辐射敏感性组合物，包含：

a.碱可溶性聚合物粘结剂，和

b.辐射吸收性化合物，

所述碱可溶性聚合物粘结剂是聚(乙烯醇缩醛)，其包含由以下 结构(Ia)表示的重复单元：

由以下结构(Ib)表示的重复单元：

由以下结构(Id)和(Ie)之一或两者表示的重复单元：

R和R′独立地是氢或甲基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、正 己基、氯代甲基、三氯代甲基、异丙基、异丁基、叔丁基、异戊基、 新戊基、1-甲基丁基和异己基、环丙基、环丁基、环戊基、甲基环己 基和环己基，或卤基，

R1是未取代的苯酚基、选自至多三个如下基团取代的苯酚基：羟 基、甲氧基、烷氧基、芳氧基、硫代芳氧基、卤甲基、三卤甲基、卤 基、硝基、偶氮、硫代羟基、硫代烷氧基、氰基、氨基、羧基、乙烯 基、羧基烷基、苯基、烷基、烯基、炔基、环烷基、芳基、杂芳基和 杂脂环族基；未取代的萘酚基、选自至多三个如下基团取代的萘酚基： 羟基、甲氧基、烷氧基、芳氧基、硫代芳氧基、卤甲基、三卤甲基、 卤基、硝基、偶氮、硫代羟基、硫代烷氧基、氰基、氨基、羧基、乙 烯基、羧基烷基、苯基、烷基、烯基、炔基、环烷基、芳基、杂芳基 和杂脂环族基；未取代的蒽酚基、或选自至多三个如下基团取代的蒽 酚基：羟基、甲氧基、烷氧基、芳氧基、硫代芳氧基、卤甲基、三卤 甲基、卤基、硝基、偶氮、硫代羟基、硫代烷氧基、氰基、氨基、羧 基、乙烯基、羧基烷基、苯基、烷基、烯基、炔基、环烷基、芳基、 杂芳基和杂脂环族基，

R2是未取代的萘酚基或选自至多三个如下基团取代的萘酚基：羟 基、甲氧基、烷氧基、芳氧基、硫代芳氧基、卤甲基、三卤甲基、卤 基、硝基、偶氮、硫代羟基、硫代烷氧基、氰基、氨基、羧基、乙烯 基、羧基烷基、苯基、烷基、烯基、炔基、环烷基、芳基、杂芳基和 杂脂环族基，但是不同于R¹，

R⁷是以下基团：

其中X是直接单键或-O-CH₂-基，

结构(Ia)重复单元以至少20mol％的量存在，结构(Ib)重复单 元以至少10mol％的量存在，和结构(Id)和(Ie)重复单元之一或两 者以2-25mol％的量存在，以及

所述辐射敏感性组合物还包含显影性增强组合物。

2.权利要求1的组合物，其中结构(Ia)重复单元以至少30mol％ 的量存在，结构(Ib)重复单元以至少20mol％的量存在，结构(Ia) 重复单元和结构(Ib)重复单元之和小于或等于75mol％。

3.权利要求1的组合物，其中所述碱可溶性聚合物粘结剂还包含 由以下结构(Ic)、(If)和(Ig)中的一种或多种表示的重复单元：

其中R和R′如上面所限定，R³是未取代的炔基、未取代的苯基或 选自如下基团取代的苯基：羧基、羧基亚烷基氧基或羧基烷基基团， R⁴是-O-C(＝O)-R⁵基，其中R⁵是含1-12个碳原子的未取代的烷基、 未取代的苯基、二甲苯基、甲苯基、对甲氧基苯基、3-氯苯基和萘基， R⁶是羟基。

4.权利要求3的组合物，其中由结构(Ic)、(If)和(Ig)表示 的重复单元按以下量存在于所述聚合物粘结剂中：

2-10mol％由结构(Ic)表示的重复单元，

1-15mol％由结构(If)表示的重复单元，和

15-30mol％由结构(Ig)表示的重复单元。

5.权利要求1的组合物，其中R和R′独立地是氢或甲基，R1是未取 代的苯酚基或未取代的萘酚基。

6.权利要求1的组合物，其中所述辐射吸收性化合物是红外辐射 吸收性化合物。

7.权利要求1的组合物，其中所述聚(乙烯醇缩醛)占总组合物 固体的10-95重量％。