[发明专利]压电薄膜共振元件以及利用它的电路部件

权利要求书

1.一种压电薄膜共振元件，具有由压电膜、下表面电极、以及上表面 电极的层叠构造形成的共振部，其中，所述压电膜具有规定的平面形状， 所述下表面电极形成于该压电膜的下表面上并在外周上具有相对于膜表面 以规定的角度倾斜的第1倾斜部，所述上表面电极形成于所述压电膜的上 表面上并且在与所述第1倾斜部所面对的部分具有第2倾斜部，所述压电 薄膜共振元件的特征在于，

在所述上表面电极上连接有外部连接用的端子电极，所述端子电极从 所述第2倾斜部向所述共振部的外侧延伸，

在从所述上表面电极起、跨过所述端子电极的区域的一部分形成有附 加膜，使得所述区域的层叠厚度局部变厚。

2.如权利要求1所述的压电薄膜共振元件，其特征在于，

所述第1倾斜部被设置在所述下表面电极的外周的一部分上。

3.一种压电薄膜共振元件，其特征在于，

具有由压电膜、下表面电极、以及上表面电极的层叠构造形成的共振 部，其中，所述压电膜具有规定的平面形状，所述下表面电极形成于该压 电膜的下表面上并在外周上具有相对于膜表面以规定的角度倾斜的倾斜 部，所述上表面电极形成于所述压电膜的上表面上，

通过在所述上表面电极上的、所述倾斜部所面对的位置的一部分上设 置附加膜，使得所述共振部的所述下表面电极的倾斜部的层叠厚度中一部 分的层叠厚度大于比所述共振部的所述下表面电极的倾斜部靠内侧部分的 层叠厚度。

4.如权利要求3所述的压电薄膜共振元件，其特征在于，

在所述上表面电极上延伸设置了外部连接用的端子电极，所述附加膜 被设置成从所述上表面电极的上表面上的、所述倾斜部所面对的位置起， 跨过所述端子电极。

5.如权利要求3所述的压电薄膜共振元件，其特征在于，

在所述上表面电极上延伸设置了外部连接用的端子电极，所述附加膜 被设置成从所述上表面电极的比所述下表面电极的倾斜部靠内侧的位置 起，通过所述倾斜部所面对的位置，跨过所述上表面电极的所述端子电 极。

6.如权利要求3至5中任一项所述的压电薄膜共振元件，其特征在 于，

代替所述附加膜，通过使所述上表面电极上的设置所述附加膜的部分 的膜厚比除此之外的部分的膜厚厚，从而使得所述共振部的所述下表面电 极的倾斜部的层叠厚度中一部分的层叠厚度大于比所述共振部的所述下表 面电极的倾斜部靠内侧部分的层叠厚度。

7.如权利要求3至5中任一项所述的压电薄膜共振元件，其特征在 于，

在所述共振部的外周部分的所述压电膜上设置相对于膜表面以规定的 角度倾斜的倾斜部，所述共振部的外周部分具有与比所述共振部的所述下 表面电极的倾斜部靠内侧部分的层叠厚度大致相同的层叠厚度，所述压电 膜的外周被设定在所述上表面电极的外周的内侧。

8.如权利要求3至5中任一项所述的压电薄膜共振元件，其特征在 于，所述倾斜部的角度被设定在25°到55°的范围内。

9.如权利要求1至5中任一项所述的压电薄膜共振元件，其特征在 于，所述压电膜是具有以(002)方向为主轴的取向性的氮化铝或者氧化 锌。

10.一种电路部件，其特征在于，所述电路部件至少包括一个权利要 求1～5中任一项所述的压电薄膜共振元件。

11.如权利要求1所述的压电薄膜共振元件，其特征在于，

所述第1倾斜部的角度被设定在25°到55°的范围内。