[发明专利]表面传感器偏移

权利要求书

1.一种操作具有铰接头部的坐标定位装置的方法，所述铰接头部上安 装有表面传感器，所述铰接头部提供所述表面传感器围绕至少第一轴线和第 二轴线的旋转，所述方法包括：

围绕所述铰接头部的第一轴线以第一角度取向定位所述表面传感器，并 且在表面传感器处于第一角度取向时获取产品的第一测量值，包括致动所述 铰接头部以围绕所述铰接头部的第二轴线旋转所述表面传感器；

驱动所述铰接头部以便围绕所述第一轴线以第二角度取向定位所述表 面传感器，并且在表面传感器处于第二角度取向时获取产品的至少第二测量 值，包括致动所述铰接头部以围绕所述铰接头部的第二轴线旋转所述表面传 感器，所述第一和第二角度取向彼此不同，以使表面传感器从预期位置的任 何偏移对第一和第二测量值的影响至少部分相反，和

利用第一和第二测量值来建立所述表面传感器从其预期位置的所述偏 移，并且利用所述偏移来校正由所述表面传感器获得的后续测量值的误差。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二角度取向不同于 第一角度取向，以使表面传感器从预期位置的任何偏移对第二测量值的影响 与该偏移对第一测量值的影响基本上相等且相反。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第二角度取向基本上 是第一角度取向的相反数。

4.如权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，获得所述第 一和第二测量值包括移动所述表面传感器以使所述表面传感器仅在第一维 度上相对于其自身进行测量。

5.如权利要求1至3任一项所述的方法，其特征在于，获取所述第一 和第二测量值的过程包括相对于产品移动表面传感器，以使表面传感器在第 一和第二维度上相对于其自身进行测量。

6.如权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，利用所述偏 移来校正包括确定表面传感器在至少第一维度上的偏移。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，利用所述偏移来校正包括 确定表面传感器在至少第二维度上的偏移。

8.如权利要求6所述的方法，其特征在于，包括确定至少第一和第二 偏移源。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述第一偏移源包括所述 至少第一轴线的实际位置和预期位置之间的差异，而所述第二偏移源包括所 述表面传感器相对于所述第一轴线的实际位置和预期位置之间的差异。

10.如权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，利用所述偏 移来校正包括从所述第一和第二测量值确定合成测量值。

11.如权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，所述第二测 量是在所述表面传感器处于不同角度取向时对第一测量的重复。

12.如权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，获取第一和 第二测量值的每一个包括测量产品上的多个点。

13.如权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，获取第一和 第二测量值包括获取环形特征的第一和第二测量值。

14.如权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，所述表面传 感器可以围绕与第一轴线垂直的至少第二轴线旋转。

15.如权利要求14所述的方法，其特征在于，所述第一和第二角度取 向围绕第一轴线设置并相对于第二轴线测量。

16.如权利要求14所述的方法，其特征在于，获取所述第一和第二测 量值包括围绕第二轴线旋转表面传感器。

17.如权利要求16所述的方法，其特征在于，获取所述第一和第二测 量值包括保持所述第二轴线的线性位置。

18.如权利要求14所述的方法，其特征在于，所述第二角度取向与所 述第一角度取向基本上相等且相反。