[发明专利]基板保持件保持装置和基板保持件收纳室

权利要求书

1.一种基板保持件收纳室，所述基板保持件收纳室设置有 多个并列配置的基板保持件保持装置，各所述基板保持件保持 装置包括：

基板保持件台(5)，所述基板保持件台用于保持在沿着所 保持的基板保持件的厚度方向的列上彼此并列配置的多个基板 保持件；

移动机构(52)，所述移动机构用于使所保持的基板保持件 在所述基板保持件的所述列的方向上移动；以及

输送机构(20)，所述输送机构被布置成面对所述基板保持 件台在所述基板保持件的所述列的方向上的前端，用于在所述 基板保持件的侧面方向上输送位于所述基板保持件台的所述前 端的所述基板保持件，以从所述基板保持件收纳室取出所述基 板保持件，

其中，所述输送机构被多个所述基板保持件保持装置共用。

2.根据权利要求1所述的基板保持件收纳室，其特征在于，

所述输送机构被配置成在沿着所述基板保持件的侧面的相 反的两个方向上输送所述基板保持件，所述移动机构使所述基 板保持件在所保持的基板保持件的所述列的方向上往复移动， 使得所述基板保持件被导入所述基板保持件收纳室以及从所述 基板保持件收纳室被取出。

3.根据权利要求1所述的基板保持件收纳室，其特征在于， 所述移动机构使所述基板保持件朝向所述输送机构移动与已经 从所述基板保持件收纳室取出的基板保持件的数量对应的距 离。

4.根据权利要求1所述的基板保持件收纳室，其特征在于， 所述基板保持件保持装置还包括用于使所述基板保持件升降的 升降单元(7A、7B)，其中，所述移动机构以使所述基板保持 件台相对于所述升降单元往复移动的方式使所述基板保持件台 移动。

5.根据权利要求1所述的基板保持件收纳室，所述基板保 持件收纳室被连接到用于对基板进行处理的处理室，其中，所 述输送机构用作所述处理室的输送机构。