[发明专利]悬浮输送装置及具有悬浮输送装置的处理系统

说明书

技术领域

本发明涉及将如坯料或者产品之类的对象物从贮藏装置或者处理装置拉 出、使用压缩空气等流体在使所述对象物悬浮的同时进行输送的悬浮输送装 置，以及具有这种悬浮输送装置的处理系统。

背景技术

例如在液晶显示装置的制造中，处理前或者处理中的玻璃基板被一张张地 顺次输送到用于制造的各工序的装置来进行处理。玻璃基板的受损或变形会对 显示装置的品质带来重大的影响，因此必须尽量防止在输送中受损或变形。因 此，为实现这样的目的而利用了通过空气等流体使玻璃基板悬浮并进行输送的 装置。这种装置一般包括具有喷出空气的喷嘴的悬浮装置，通过所喷出的空气 对对象物施加浮力。玻璃基板通过浮力悬浮，受到输送装置的驱动力而被输送。 相关技术记载于日本国专利公开2006-182563号中。

玻璃基板暂时储存在制造工序中的上游侧装置中，顺次被拉出而移动到悬 浮输送装置上。在完成向悬浮输送装置上的移动后，玻璃基板受到均匀的浮力 而能够保证平坦性，但在这样的拉出过程中会引起使玻璃基板变形的可能。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种在防止变形的同时将对象物拉 出、并在使对象物悬浮的同时进行输送的悬浮输送装置及具有这种悬浮输送装 置的处理系统。

根据本发明的第一方面，提供一种悬浮输送装置，用于从外部装置拉出对 象物、并通过流体使所述对象物悬浮并进行输送的用途，所述悬浮输送装置具 有：

具有第一区域和第二区域的基台；

排列在所述第一区域的第一输送装置及排列在所述第二区域的第二输送 装置，该第一输送装置和该第二输送装置分别用于与所述对象物接触地将所述 对象物从所述第一区域输送到所述第二区域；

配置在所述基台上的第一悬浮装置，其具有喷出所述流体的喷出孔，以便 对所述对象物施加浮力；以及

第二悬浮装置，其沿着所述第一输送装置配置在所述基台上，并具有喷出 所述流体的喷出孔，以便对所述对象物施加浮力，该第二悬浮装置能够在第一 高度和第二高度之间控制所述对象物在所述第一输送装置上的悬浮高度，所述 第一高度是防止所述第二输送装置与所述对象物可驱动地接触的高度，所述第 二高度是允许所述输送装置与所述对象物可驱动地接触的高度。

优选为，所述悬浮输送装置还具有：用于使所述第二悬浮装置以能够控制 的方式进行升降的升降装置。还优选为，所述第一输送装置和所述第二输送装 置分别具有从由超声波马达、辊、夹持驱动器(clamper)及皮带输送机构成 的组中选择出的任意部件。或优选为，所述悬浮输送装置还具有臂，该臂具有 用于吸附所述对象物的吸附盘，并且该臂以能够控制的方式被驱动，以便将所 吸附的所述对象物从所述外部装置拉出到所述第一区域。进一步优选为，所述 悬浮输送装置还具有：用于使所述第一输送装置以能够控制的方式进行升降的 上下装置。

根据本发明的第二方面，提供一种处理系统，具有：

具有搬出部的处理装置；

以使所述第一区域与所述搬出部邻接的方式配置的所述的悬浮输送装置。

附图说明

图1是表示根据本发明实施方式的悬浮输送系统的俯视图。

图2是表示所述悬浮输送系统的局部放大俯视图。

图3是表示图2的III-III向侧视图。

图4是表示图2的IV-IV向侧视图。

图5是表示图2的V-V向侧视图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明实施方式进行说明。在本说明书、权利要求及附图 中，前方、后方、左方及右方分别定义为附图中以F、A、L及R所表示的方 向。这种定义仅为方便说明而举例，本发明并不限定于此。

此外在以下说明中，作为例子说明了在液晶显示装置的制造中所使用的、 如玻璃基板之类的薄且平面状的对象物的输送，但是本发明并不一定限定于 此。就对象物来讲，无需整体都呈平面状，只要其下表面的至少一部分呈平面 状即可。为使对象物悬浮，利用了例如空气等流体。