[发明专利]方向转换装置及具有方向转换装置的悬浮输送系统

说明书

技术领域

本发明涉及用于使用压缩空气等流体使对象物悬浮的同时转换方向的方 向转换装置及具有方向转换装置的悬浮输送系统。

背景技术

为了输送如玻璃基板等的薄的材料而提出有多种悬浮输送装置。这些悬浮 输送装置，典型的是具备使空气等流体通过的喷嘴的悬浮装置。对悬浮装置和 对象物之间喷出的空气等流体发生压力，对象物通过此压力悬浮，并受到输送 装置的驱动力而被输送。

上述悬浮输送装置，一般来讲适于以直线方式向同一方向输送对象物，在 需要方向转换时有必要附设方向转换装置。在日本国专利公开公报2005-75496 号中公开有如下装置：设置用于调整送气方向的百叶板来作为单元，通过将送 气方向不同的多个单元的组合配置而实现方向转换。

在如上述的方向转换装置中，仅通过送出的空气来变换对象物的方向，因 此难以高精度地控制其位置和方向。

发明内容

鉴于上述问题的不足，本发明的目的在于提供一种可高精度地控制对象物 的位置及方向并转换对象物方向的方向转换装置及具有这样的方向转换装置 的悬浮输送系统。

根据本发明的第一方案，提供一种方向转换装置，用于通过流体使对象物 悬浮并转换该对象物的方向。所述方向转换装置具备：构成为与所述对象物接 触并将所述对象物输送到第一方向的第一输送装置；构成为与所述对象物接触 并将所述对象物输送到所述第二方向的第二输送装置；具有沿着所述第一输送 装置配置并为了对所述对象物施加浮力而喷出所述流体的喷出孔，在防止所述 第一输送装置与所述对象物驱动地接触的第一高度和允许所述第一输送装置 与所述对象物驱动地接触的第二高度之间，对所述对象物在所述第一输送装置 上的悬浮高度进行控制的第一悬浮装置；以及具有沿着所述第二输送装置配置 并为了对所述对象物施加浮力而喷出所述流体的喷出孔，与第一悬浮装置独立 地在防止所述第二输送装置与所述对象物驱动地接触的第一高度和允许所述 第二输送装置与所述对象物驱动地接触的第二高度之间，对所述对象物在所述 第二输送装置上的悬浮高度进行控制的第二悬浮装置。

优选为，所述的方向转换装置，进一步具有：构成为可控制地升降所述第 一悬浮装置的第一升降装置；以及构成为可控制地升降所述第二悬浮装置的第 二升降装置。更优选为，所述第一输送装置和所述第二输送装置分别具有由从 超声波马达、辊、夹持器及带式输送机构成的组中选择的任意部件。

根据本发明的第二方案，悬浮输送系统具备：使所述对象物悬浮并输送到 所述第一方向的第一悬浮输送装置；使所述对象物悬浮并输送到所述第二方向 的第二悬浮输送装置；以及介于所述第一悬浮输送装置和所述第二悬浮输送装 置之间的所述方向转换装置。

附图说明

图1是表示根据本发明实施方式的悬浮输送系统的俯视图。

图2是表示所述悬浮输送系统的方向转换装置的俯视图。

图3是表示从图2的III-III线观察的侧视图。

图4是表示从图2的IV-IV线观察的侧视图。

图5是表示所述悬浮输送系统中的第一悬浮输送装置的俯视图。

图6是表示所述悬浮输送系统中的第二悬浮输送装置的俯视图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明实施方式进行说明。在本说明书、技术方案的范围 及附图中，前方、后方、左方及右方在附图中分别定义为以F、A、L及R所 标记的方向。这些定义仅为方便说明而举，本发明并不限定于此。

并且在以下说明中，作为例子说明了在液晶显示装置的制造中所使用的、 如玻璃基板等的薄且平面状的对象物的输送，但是本发明并不一定限定于此。 就对象物来讲，无需全体地呈平面状，只要其下表面的至少一部分呈平面状即 可。为使对象物悬浮，利用了例如空气等的流体。

如图1所示，悬浮输送系统1具有通过流体使对象物W悬浮并将该对象 物W输送到第一方向D1(在图中的纵向)的第一悬浮输送装置3、将对象物 W悬浮并输送到第二方向D2(在图2中的横向)的第二悬浮输送装置5、以 及介于第一悬浮输送装置3和第二悬浮输送装置5之间的方向转换装置7。方 向转换装置7使对象物W悬浮而从第一方向D1转换到第二方向D2。虽然在 图中第一方向D1和第二方向D2正交，但也可以不正交。