[发明专利]研磨组合物

权利要求书

1.一种研磨组合物，其特征在于，其含有：含有铵基的碱性化合物、具有碳原子数为9～18的烷基的烷基苯磺酸盐以及过氧化氢。

2.根据权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于，pH为8～12。

3.根据权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于，含有铵基的碱性化合物是选自氢氧化铵、氯化铵、碳酸铵、硝酸铵、硫酸铵、焦硫酸铵、亚硝酸铵、亚硫酸铵、碳酸氢铵、乙酸铵、草酸铵、过氧酸铵、磷酸铵、焦磷酸铵以及己二酸铵之中的一种或二种以上。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的研磨组合物，其特征在于，烷基苯磺酸盐所具有的烷基的碳原子数为10～16。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的研磨组合物，其特征在于，其含有磨粒。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的研磨组合物，其特征在于，其含有选自酒石酸、柠檬酸、苹果酸、乙二胺四乙酸、草酸、丙二酸、烟酸、戊酸、抗坏血酸、己二酸、丙酮酸、甘氨酸、琥珀酸以及富马酸之中的一种或二种以上的有机酸。