[发明专利]原料气体的供给系统以及成膜装置

权利要求书

1.一种原料气体的供给系统，对成为减压环境的气体使用系统供给原料气体，其特征在于，

具备：

存留液体原料或者固体原料的原料罐；

一端与上述原料罐连接、另一端与上述气体使用系统连接的原料通路；

与上述原料罐连接、边进行流量控制边向上述原料罐内供给运载气体的运载气体供给机构；

在上述原料通路的中途设置的开闭阀；

加热上述原料通路以及上述开闭阀的加热器；

控制上述加热器的温度控制部，

上述原料通路以及上述开闭阀分别利用具有良好的导热性的金属材料来形成。

2.根据权利要求1所述的原料气体的供给系统，其特征在于，多个上述开闭阀设置在上述原料通路的中途。

3.根据权利要求1所述的原料气体的供给系统，其特征在于，在上述原料通路设有测定上述原料气体的流量的流量计。

4.根据权利要求1所述的原料气体的供给系统，其特征在于，上述开闭阀具有：

形成有从气体入口到气体出口通过阀口延伸的气体流动区域的阀箱；

以可就位于划定上述阀口的阀座上的方式设置的阀体；

与上述阀体连接的阀棒；

使上述阀棒移动的促动器；

在容许上述阀棒的移动的同时，为了将上述阀棒从上述阀箱内的原料气体的上述流动区域区划开而以覆盖上述阀棒的方式可伸缩地设置的波纹管，

至少上述阀箱以及上述阀体由上述具有良好导热性的金属材料形成。

5.根据权利要求1所述的原料气体的供给系统，其特征在于，上述加热器由棒状加热器或者面状加热器构成。

6.根据权利要求1所述的原料气体的供给系统，其特征在于，上述液体原料或者固体原料，在温度低于其分解温度并且蒸汽压力为133Pa以下的条件下使用。

7.根据权利要求1所述的原料气体的供给系统，其特征在于，上述原料通路的内径为19.05mm以上。

8.根据权利要求1所述的原料气体的供给系统，其特征在于，上述具有良好导热性的金属材料是从铝、铝合金、铜以及铜合金构成的组中选择出来的一个以上的金属材料。

9.根据权利要求1所述的原料气体的供给系统，其特征在于，上述液体原料或者固体原料，从由Ru₃(CO)₁₂、W(CO)₆、TaCl₅、TAIMATA(注册商标)以及TBTDET(注册商标)构成的组中选择出来的一个原料。

10.根据权利要求1所述的原料气体的供给系统，其特征在于，上述气体使用系统是对被处理体形成薄膜的成膜装置主体。

11.一种成膜装置，用于对被处理体实施成膜处理，其特征在于，具备：

可被真空排气的处理容器；

在上述处理容器内保持上述被处理体的保持机构；

加热上述被处理体的加热机构；

向上述处理容器内导入气体的气体导入部件；

与上述气体导入部件连接的权利要求1所述的原料气体的供给系统。