[发明专利]喷涂用正型感光性树脂组合物、使用该喷涂用正型感光性树脂组合物的固化膜的形成方法、固化膜以及半导体装置

权利要求书

1.一种喷涂用正型感光性树脂组合物，其用于通过喷涂在基板上形成涂布膜的方法中，其特征在于，

所述喷涂用正型感光性树脂组合物含有(A)碱溶性树脂、(B)通过光产生酸的化合物以及(C)溶剂，

并且，所述喷涂用正型感光性树脂组合物的粘度为2～200cP。

2.根据权利要求1所述的喷涂用正型感光性树脂组合物，其中，所述(A)碱溶性树脂是：

具有聚苯并噁唑结构和聚酰亚胺结构中的至少一种结构，并且主链或者侧链上具有羟基、羧基、醚基或者酯基的树脂；

具有聚苯并噁唑前驱体结构的树脂；

具有聚酰亚胺前驱体结构的树脂；或是，

具有聚酰胺酸酯结构的树脂。

3.根据权利要求1或2所述的喷涂用正型感光性树脂组合物，其中，所述(B)通过光产生酸的化合物是苯酚化合物和1，2-萘醌-2-二叠氮基-5-磺酸或者1，2-萘醌-2-二叠氮基-4-磺酸的酯化合物。

4.根据权利要求1、2或3所述的喷涂用正型感光性树脂组合物，其中，所述(C)溶剂的沸点是210℃以下，并且所述(C)溶剂在20℃下的蒸汽压是25kPa以下。

5.一种固化膜的形成方法，其特征在于，将权利要求1～4中任一项所述的喷涂用正型感光性树脂组合物，在基板上依次进行喷涂、烘焙、曝光、显影来形成图案，进一步进行所述图案的固化，得到固化膜。

6.一种固化膜，其特征在于，由权利要求1～4中任一项所述的喷涂用正型感光性树脂组合物的固化物构成。

7.一种半导体装置，其特征在于，具备：半导体基板；设置在所述半导体基板上的半导体元件；以及设置在所述半导体元件上部的权利要求6所述的固化膜。