[发明专利]微机械转动率传感器

权利要求书

1.微机械科氏转动率传感器，用于检测绕测量轴线(4)(X轴线)的转动率，该微机械科氏转动率传感器具有衬底(1)、振动结构(2)以及用于产生该振动结构绕与该测量轴线(4)正交的激励轴线(5)(Z轴线)的转动振动的装置，其中，该振动结构(2)借助于内部的第一悬置装置(3a，3b，11a，11b)或中央的悬置装置(3，11a，11b)可转动地与该衬底(1)连接，由此，该振动结构可绕优选与该振动结构(2)的质心重合的转动点相对于该衬底(1)进行转动振动，其特征在于：设置有至少一对第二悬置装置(14a，14b，10a，10b)，所述至少一对第二悬置装置使该振动结构(2)与该衬底(1)连接，其中，其悬置装置(14a，14b，10a，10b)设置在该转动点的彼此对置的侧，所述至少一对第二悬置装置与所述内部的第一悬置装置或所述中央的悬置装置相比到该转动点设置在更大的径向距离上。

2.微机械转动率传感器，用于检测绕测量轴线(4)(X轴线)的转动率，该微机械转动率传感器具有衬底(1)以及探测单元(2)，其中，该探测单元(2)借助于中央的悬置装置(3，11a，11b)可转动地与该衬底(1)连接，由此，该探测单元(2)可绕所述中央的悬置装置(3，11a，11b)相对于该衬底(1)进行转动振动，其特征在于：该探测单元(2)和该衬底(1)借助于至少两个第二悬置装置(10a，10b；14a，14b)彼此连接。

3.根据权利要求1或2的微机械转动率传感器，其特征在于：所述内部的第一悬置装置和外部的第二悬置装置在延伸通过该振动结构(2)的质心的直线上正好相反地彼此对置(权利要求1的情况)或者所述外部的第二悬置装置(10a，10b；14a，14b)在延伸通过所述中央的悬置装置(3，11a，11b)的直线上正好相反地彼此对置(权利要求2的情况)。

4.根据权利要求1或3的微机械转动率传感器，其特征在于：所述内部的第一悬置装置(3a，3b)成对地彼此对置地设置。

5.根据上述权利要求之一的微机械转动率传感器，其特征在于：所述第二悬置装置(14a，14b，10a，10b)分别包括至少一个弹簧元件(10a，10b)。

6.根据上述权利要求之一的微机械转动率传感器，其特征在于：这些弹簧元件(10a，10b)至少之一构造成弯曲梁。

7.根据权利要求5或6的微机械转动率传感器，其特征在于：这些弹簧元件(10a，10b)分别具有一个补偿所述弹簧元件的纵向方向上的变形的区域(20a，20b)。

8.根据权利要求7的微机械转动率传感器，其特征在于：所述补偿变形的区域(20a，20b)构造成蜿蜒曲折形、U形、C形或环形。

9.根据权利要求5至8之一的微机械转动率传感器，其特征在于：这些弹簧元件(10a，10b)至少之一在由于待探测的转动率而引起的偏转的方向上比在与该方向正交的方向上具有更高的弹簧刚度。

10.根据权利要求5至9之一的微机械转动率传感器，其特征在于：这些弹簧元件(10a，10b)分别具有纵横比高的、基本上矩形的横截面。

11.根据上述权利要求之一的微机械转动率传感器，其特征在于：该探测单元(2)在所述中央的悬置装置(3，11a，11b)处借助于至少一个弯曲弹簧(11a，11b)与该衬底(1)连接，所述弯曲弹簧基本上阻止该探测单元(2)相对于该衬底(1)绕该测量轴线(4)转动，但允许在其它空间方向上转动。

12.根据上述权利要求之一的微机械转动率传感器，其特征在于：该振动结构(2)具有两个翼形的成形部(17a，17b)。

13.根据权利要求12的微机械转动率传感器，其特征在于：这些翼形的成形部(17a，17b)具有用于这些弹簧元件(10a，10b)和与这些弹簧元件连接的缓冲元件(20a，20b)的凹部(15a，15b)。

14.根据上述权利要求之一的微机械转动率传感器，其特征在于：这些弹簧元件(10a，10b)在径向远离所述中央的悬置装置(3，11a，11b)或所述内部的第一悬置装置(3a，3b，11a，11b)的端部(13a，13b)上与该振动结构(2)连接。