[发明专利]三维测量装置和基板检查机

权利要求书

1.一种三维测量装置，其包括：

照射机构，该照射机构可对基板主体上的测量对象部照射相位移法用的条纹状的光图案和空间编码化法用的条纹状的光图案；

摄像机构，该摄像机构可对照射了上述光图案的测量对象部进行摄像；

摄像控制机构，该摄像控制机构对基于上述摄像机构的摄像进行控制；

第1运算机构，该第1运算机构根据通过上述摄像机构摄制的多个图像数据，通过相位移法，至少对上述测量对象部的高度进行运算；

第2运算机构，该第2运算机构可根据通过上述摄像机构摄制的图像数据，通过空间编码化法，指定基于上述相位移法的上述第1运算机构的运算时的图像数据中的与上述测量对象部相对应的条纹；

其特征在于上述摄像控制机构根据上述测量对象部的高度信息或基本高度信息，确定基于上述空间编码化法用的光图案的照射的基于上述摄像机构的摄像次数，进行已确定的摄像次数的摄像。

2.一种三维测量装置，其包括照射机构，该照射机构可对基板主体上的测量对象部照射相位移法用的条纹状的光图案和空间编码化法用的条纹状的光图案；

摄像机构，该摄像机构可对照射了上述光图案的测量对象部进行摄像；

摄像控制机构，该摄像控制机构对基于上述摄像机构的摄像进行控制；

第1运算机构，该第1运算机构根据通过上述摄像机构摄制的多个图像数据，通过相位移法，至少对上述测量对象部的高度进行运算；

第2运算机构，该第2运算机构可根据通过上述摄像机构摄制的图像数据，通过空间编码化法，指定基于上述相位移法的上述第1运算机构的运算时的图像数据中的与上述测量对象部相对应的条纹；

其特征在于上述摄像控制机构根据基板的设计数据和制造数据中的至少一者，获得上述测量对象部的高度信息或基本高度信息，根据该高度信息或基本高度信息，确定基于上述空间编码化法用的光图案的照射的上述摄像机构的摄像次数，进行已确定的摄像次数的摄像。

3.一种三维测量装置，其包括：

照射机构，该照射机构可对基板主体上的测量对象部，照射具有基本正弦波状的光强度分布的相位移法用的条纹状的光图案，与光强度分布符合规定编码的空间编码化法用的条纹状的光图案；

摄像机构，该摄像机构可对照射了上述相位移法用的光图案和空间编码化法用的光图案的测量对象部进行摄像；

摄像控制机构，该摄像控制机构对上述摄像机构的摄像进行控制；

第1运算机构，该第1运算机构根据通过上述摄像机构摄制的多个图像数据，通过相位移法，至少对上述测量对象部的高度进行运算；

第2运算机构，该第2运算机构可根据通过上述摄像机构摄制的图像数据，通过空间编码化法，指定基于上述相位移法的上述第1运算机构的运算时的条纹次数；

按照下述方式构成，该方式为：通过上述第2运算机构，指定基于上述相位移法的上述第1运算机构的运算时的条纹次数，并且通过上述第1运算机构，对上述测量对象部的高度进行运算；

其特征在于上述摄像控制机构根据基板的设计数据和制造数据中的至少一者，获得上述测量对象部的高度信息或基本高度信息，根据该高度信息或基本高度信息，确定基于上述空间编码化法用的光图案的照射的基于上述摄像机构的摄像次数，进行已确定的摄像次数的摄像。

4.根据权利要求1～3中的任何一项所述的三维测量装置，其特征在于上述摄像控制机构：

在已获得的上述高度信息或基本高度信息为上述测量对象部的高度小于第1规定值的信息的场合，基于上述空间编码化法用的光图案的照射的基于上述摄像机构的摄像次数为零次，不经过基于上述第2运算机构的指定，通过上述第1运算机构对上述测量对象部的高度进行运算。

5.根据权利要求1～4中的任何一项所述的三维测量装置，其特征在于上述摄像控制机构：

在已获得的上述高度信息或基本高度信息为上述测量对象部的高度在第1规定值以上的信息的场合，基于上述空间编码化法用的相互不同的光图案的照射的上述摄像机构的摄像次数为2次以上。

6.根据权利要求1～5中的任何一项所述的三维测量装置，其特征在于上述相位移法用的条纹状的光图案为针对基于该相位移法用的条纹状的光图案的照射的每次的摄像，按照相同周期，相位不同的图案。