[发明专利]真空装置用异常放电抑制装置有效
申请号: | 200880101792.4 | 申请日: | 2008-07-14 |
公开(公告)号: | CN101772992A | 公开(公告)日: | 2010-07-07 |
发明(设计)人: | 让原逸男;高柳敦 | 申请(专利权)人: | 株式会社京三制作所 |
主分类号: | H05H1/00 | 分类号: | H05H1/00;H01L21/3065;H05H1/46 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 装置 异常 放电 抑制 | ||
1.一种真空装置用异常放电抑制装置,其是抑制从高频电源向等离子体 反应室内供给电力来生成等离子体的真空装置的异常放电的装置,其特征在 于,
具有:
电力控制部,其根据电力指令值和电力反馈值的偏差控制所述高频电源; 和
切断控制部,其检测在等离子体反应室内异常放电时、以及向异常放电 的转移过程时的至少某一个时期发生的反射波电力,来切断从所述高频电源向 等离子体反应室的电力供给,
所述切断控制部,包含使切断时间的时间范围不同的第一操作切断控制 和第二操作切断控制,
所述第一操作切断控制,使可能在等离子体反应室内残存离子,在异常 放电的初期发生的少数电弧的起弧因素消灭的时间范围内切断控制高频电源,
所述第二操作切断控制,在异常放电时从少数电弧转移的多数电弧的离 子消灭的时间范围内切断控制高频电源,
其中,所述第一操作切断控制的切断时间的时间范围为1μs到100μs,所 述第二操作切断控制的切断时间的时间范围为1ms到100ms。
2.根据权利要求1所述的真空装置用异常放电抑制装置,其特征在于,
所述电力控制部,
在通过所述第一操作切断控制切断高频电源的输出后通过软起动进行再 起动,
该软起动,以与所述第一操作切断控制的切断时间相同时间数量级的时 间范围输出从零到电力指令值的斜坡输出。
3.根据权利要求2所述的真空装置用异常放电抑制装置,其特征在于, 所述软起动的时间范围是1μs到100μs。
4.根据权利要求1所述的真空装置用异常放电抑制装置,其特征在于,
所述电力控制部,
在通过所述第二操作切断控制切断高频电源的输出后通过软起动进行再 起动,
该软起动,以与高频电源和等离子体反应室之间的匹配电路的匹配速度 对应的时间范围输出从零到电力指令值的斜坡输出。
5.根据权利要求4所述的真空装置用异常放电抑制装置,其特征在于, 所述软起动的时间范围是1ms到10s。
6.根据权利要求1到5中任何一项所述的真空装置用异常放电抑制装置, 其特征在于,
所述切断控制部,计数第一操作切断控制的执行次数,在该计数值达到 预先设定的设定次数的时刻执行所述第二操作切断控制。
7.根据权利要求6所述的真空装置用异常放电抑制装置,其特征在于, 在执行所述第二操作切断控制的同时对所述计数值进行清零,重新计数所述第 一操作切断控制的执行次数。
8.根据权利要求1所述的真空装置用异常放电抑制装置,其特征在于,
具有切断控制禁止部,其用于禁止通过所述切断控制部进行的电力供给 的切断控制,
所述切断控制禁止部,在电弧切断禁止区间内,禁止通过所述切断控制 部进行的电力供给的切断控制,继续电力供给。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社京三制作所,未经株式会社京三制作所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200880101792.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。