[发明专利]用于激光镜的热畸变补偿

权利要求书

1.一种用于在气体放电激光器中支承端镜的管座组件，包括：

凸缘，包括面向所述放电的内表面和相对的外表面，所述凸缘 包括镜支承体，所述镜支承体包括位于所述凸缘的所述内表面以附接 于镜元件的柱，所述镜支承体还包括位于所述凸缘的所述外表面上的 镜倾斜调整机构；

细长的镜元件，其基本上由金属材料形成，并且在所述镜元件 的背面附接于所述镜支承体的所述柱，所述镜元件的前面包括用于控 制光的传播的细长凹形反射部分，所述前面还包括平行于所述凹形反 射部分延伸的至少一个平坦表面；以及

细长条带，其与所述镜元件的所述平坦表面连接，所述条带由 热膨胀系数小于形成所述镜元件的所述金属材料的热膨胀系数的金 属材料形成。

2.如权利要求1所述的组件，其中所述镜元件主要由铜形成， 并且所述条带主要由不锈钢形成。

3.如权利要求1所述的组件，其中所述条带与所述镜元件栓接。

4.如权利要求1所述的组件，其中所述条带与所述镜元件粘合。

5.如权利要求1所述的组件，其中所述平坦表面沿着远离所述 放电的方向远离所述弯曲表面下降。

6.如权利要求1所述的组件，其中所述镜元件包括第二平坦表 面，所述第二平坦表面平行于所述凹形反射部分延伸、并且位于所述 弯曲表面的相对于所述至少一个平坦表面的侧面上，其中所述组件还 包括与所述第二平坦表面连接的第二细长金属条带，所述第二条带由 热膨胀系数小于形成所述镜元件的所述金属材料的热膨胀系数的金 属材料形成。

7.如权利要求6所述的组件，其中所述平坦表面沿着远离所述 放电的方向远离所述弯曲表面下降。

8.一种用于在气体放电激光器中支承端镜的管座组件，包括：

凸缘，包括面向所述放电的内表面和相对的外表面，所述凸缘 包括镜支承体，所述镜支承体包括位于所述凸缘的所述内表面以附接 于镜元件的柱，所述镜支承体还包括位于所述凸缘的所述外表面上的 镜倾斜调整机构；

细长的镜元件，其基本上由金属材料形成，并且在所述镜元件 的背面附接于所述镜支承体的所述柱，所述镜元件的前面包括用于控 制光的传播的细长凹形反射部分，所述前面还包括平行于所述凹形反 射部分延伸、并在其任一侧面上的一对平坦表面；所述平坦表面沿着 远离所述放电的方向远离所述凹形反射部分下降；以及

细长条带，其与所述镜元件的所述平坦表面连接，所述条带由 热膨胀系数小于形成所述镜元件的所述金属材料的热膨胀系数的金 属材料形成。

9.如权利要求8所述的组件，其中所述镜元件主要由铜形成， 并且所述条带主要由不锈钢形成。

10.如权利要求8所述的组件，其中所述条带与所述镜元件栓 接。

11.如权利要求8所述的组件，其中所述条带与所述镜元件粘 合。

12.一种用于在气体放电激光器中支承端镜的管座组件，包括：

凸缘，包括面向所述放电的内表面和相对的外表面，所述凸缘 包括镜支承体，所述镜支承体包括位于所述凸缘的所述内表面以附接 于镜元件的柱，所述镜支承体还包括位于所述凸缘的所述外表面上的 镜倾斜调整机构；

细长的镜元件，其基本上由金属材料形成，并且在所述镜元件 的所述背面附接于所述镜支承体的所述柱，所述镜元件的前面包括用 于控制光的传播的细长凹形反射部分；以及

细长条带，其与所述镜元件的所述背面连接，所述条带由热膨 胀系数大于形成所述镜元件的所述金属材料的热膨胀系数的金属材 料形成。

13.如权利要求12所述的组件，其中所述镜元件主要由铜形成， 并且所述条带主要由铝形成。

14.如权利要求12所述的组件，其中所述条带与所述镜元件栓 接。

15.如权利要求12所述的组件，其中所述条带与所述镜元件粘 合。