[发明专利]压电薄膜传感器

权利要求书

1.一种压电薄膜传感器，其特征在于，具有：

基材，其被弯折成形成于表面的信号电极及接地电极在俯视时重合；

压电薄膜，其被插入到形成于所述基材的所述信号电极与所述接地电极之间；和

粘接层，其用于粘接被弯折的所述基材，将所述信号电极、所述接地电极及所述压电薄膜固定。

2.根据权利要求1所述的压电薄膜传感器，其特征在于，

将所述信号电极及所述接地电极的两端子，集中设置在通过弯折而被划分的所述基材的多个区域中的至少一个区域。

3.根据权利要求1或2所述的压电薄膜传感器，其特征在于，

所述信号电极及所述接地电极形成在所述基材的同一面上。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的压电薄膜传感器，其特征在于，

在具有所述信号电极的面的背面，还形成有第二接地电极。

5.根据权利要求1～3中任意一项所述的压电薄膜传感器，其特征在于，

通过在至少两个部位弯折所述基材，所述信号电极构成为以被接地电极夹持的状态在俯视时重合。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的压电薄膜传感器，其特征在于，

将所述信号电极及所述接地电极的端子集中设置于所述基材的弯折部。

7.根据权利要求1～6中任意一项所述的压电薄膜传感器，其特征在于，

所述基材具备通过对该基材进行弯折而被划分的基材第一部和基材第二部，

所述信号电极设置于所述基材第一部，所述接地电极设置于所述基材第二部。

8.根据权利要求1～3中任意一项所述的压电薄膜传感器，其特征在于，

通过在至少两个部位弯折所述基材，所述信号电极被构成为以被接地电极夹持的状态在俯视时重合，

所述基材具备：通过弯折该基材而被划分的基材第一部、基材第二部和基材第三部，

所述基材第一部与所述基材第二部被第一弯折部划分，并且，所述基材第二部与所述基材第三部被第二弯折部划分，

所述信号电极设置于所述基材第一部，所述接地电极设置于所述基材第二部，所述第二接地电极设置于所述基材第三部。

9.根据权利要求6所述的压电薄膜传感器，其特征在于，

在所述集中设置的所述信号电极及所述接地电极的两端子的周围形成切槽，

通过弯折所述基材，所述两端子露出。