[发明专利]摆动体装置及其制造方法、光学偏转器和图像形成装置

权利要求书

1.一种摆动体装置，所述摆动体装置包括利用支承部能绕扭转轴线摆动地支承在固定部上的摆动板，所述摆动体装置以共振频率绕所述扭转轴线驱动所述摆动板，

所述摆动板具有形成用于调整所述摆动板的质量的槽部的区域，且所述共振频率被构造成能通过在所述区域内形成所述槽部来调整。

2.根据权利要求1所述的摆动体装置，其特征在于，所述摆动板包括这样一种结构，所述结构利用第一摆动板和第二摆动板具有绕所述扭转轴线的至少两种固有振动模式的频率，以及

所述槽部被构造成能形成在所述第一摆动板和所述第二摆动板中至少一者的形成槽部的区域内。

3.根据权利要求1所述的摆动体装置，其特征在于，所述摆动板具有与所述摆动板连接且在平行于所述扭转轴线的方向上延伸的延伸部，所述延伸部的一部分被能切断以能够调整所述摆动板的质量，以及

形成所述槽部的所述区域为所述摆动板或所述延伸部的正面和背面中至少一者。

4.根据权利要求3所述的摆动体装置，其特征在于，所述槽部被形成为在垂直于扭转轴线的方向上从所述摆动板或所述延伸部的一边至另一边横过所述摆动板或所述延伸部。

5.一种光学偏转器，包括：

根据权利要求1至4中任一项所述的摆动体装置；以及

光学偏转元件，设在所述摆动体装置的摆动板上。

6.一种图像形成装置，包括光源、感光部件和根据权利要求5所述的光学偏转器，

其中，来自所述光源的光线利用所述光学偏转器偏转，且所述光线的至少一部分被允许入射在所述感光部件上。

7.一种用于制造摆动体装置的制造方法，所述摆动体装置包括利用支承部能绕扭转轴线摆动地支承在固定部上的摆动板，所述摆动体装置以共振频率绕所述扭转轴线驱动所述摆动板，所述方法包括如下步骤：

在所述摆动板的区域内形成槽部，以调整所述摆动板的质量，从而调整所述摆动板的共振频率。

8.根据权利要求7所述的摆动体装置的制造方法，其特征在于，当调整所述摆动板的所述质量时，以第一摆动板和第二摆动板作为所述摆动板形成具有绕所述扭转轴线的至少两种固有振动模式的频率的结构，以及

在所述第一摆动板和所述第二摆动板中至少一者的区域内形成所述槽部。

9.根据权利要求7所述的摆动体装置的制造方法，其特征在于，当调整所述摆动板的所述质量时，执行以下第一和第二步骤两者或者仅执行所述第二步骤，在所述第一步骤中，形成与所述摆动板连接且在平行于所述扭转轴线的方向上延伸的延伸部作为所述摆动板、并切断所述延伸部的一部分以调整所述摆动板的质量，在所述第二步骤中，在所述摆动板或所述延伸部的所述正面和所述背面中至少一者内形成所述槽部以调整所述摆动板的质量。

10.根据权利要求7所述的摆动体装置的制造方法，其特征在于，当调整所述摆动板的所述共振频率时检测所述摆动板绕所述扭转轴线的所述固有振动模式的所述频率，以基于所检得的频率与预定共振频率之间的差异决定所述摆动板的惯性力矩的调整量。

11.根据权利要求10所述的摆动体装置的制造方法，其特征在于，基于所述摆动板的所述惯性力矩的所述调整量，决定所述槽部的宽度、深度和数量中的至少一者。

12.根据权利要求7所述的摆动体装置的制造方法，其特征在于，利用激光束通过辐射在垂直于所述扭转轴线的方向上从所述摆动板或所述延伸部的一边至另一边横过所述摆动板或所述延伸部形成所述槽部。