[发明专利]多维位置传感器

权利要求书

1.一种装置，包括：

控制器；

与控制器相连的工件运送工具，该运送工具具有可运动部分和运送路径；以及

多维位置测量设备，其包括至少一个附接到可运动部分的场生成压板和沿运送路径定位并与控制器相连的至少一个传感器组，其中场生成压板被配置为用于位置测量和推动可运动部分二者；

其中该至少一个传感器组中的每一传感器被配置成提供仅一个与在所感测的场中沿单轴的变化相对应的输出信号，其中场由至少一个场生成压板生成，控制器被配置成基于该至少一个传感器组中的至少一个传感器的仅一个输出信号，计算邻近相应的该至少一个传感器组之一的可运动部分的多维位置，其中多维位置包括至少平面位置和工件运送工具与该至少一个传感器组之间的间隙。

2.根据权利要求1所述的装置，其中至少一个场生成压板包括成形的磁体，该磁体被配置成提供基本无失真的正弦磁场。

3.根据权利要求1所述的装置，其中至少一个传感器组中的至少一个被配置成感测由场生成压板生成的场的法向分量，其中法向分量垂直于场生成压板的表面。

4.根据权利要求1所述的装置，其中至少一个传感器组中的至少一个被配置成感测由场生成压板生成的场的平行分量，其中平行分量平行于场生成压板的表面。

5.根据权利要求1所述的装置，其中至少一个传感器组中的至少一个包括单数传感器，至少一个传感器组中的至少另一个包括传感器成对体，其中所述传感器成对体中的传感器提供的输出信号具有正弦/余弦关系。

6.根据权利要求1所述的装置，其中至少一个传感器组中的至少一个包括传感器成对体，其中传感器成对体中的传感器提供的输出信号具有正弦/余弦关系。

7.根据权利要求1所述的装置，其中至少一个传感器组中的至少一个包括第一传感器对和第二传感器对，其中第一传感器对位于第二传感器对上方，两者成交错关系。

8.根据权利要求1所述的装置，其中至少一个传感器组中的至少一个包括第一传感器对和第二传感器对，其中第一传感器对位于第二传感器对之间，两者成正交关系。

9.根据权利要求1所述的装置，其中至少一个传感器组紧邻至少一个场生成压板定位，使得至少一个传感器组中的传感器达到饱和极限。

10.根据权利要求1所述的装置，其中控制器被配置成调整从至少一个传感器组接收到的输出的正弦周期，使得从调整的信号获得的位置测量比从具有未调整的正弦周期的输出获得的位置测量更精确。