[发明专利]真空泵的电流引入装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种带有真空密封的外壳和电流引入装置的真空泵，其中 所述外壳包括马达和泵转子，并且所述电流引入装置具有电路板。

背景技术

涡轮分子泵形式的真空泵包括转子，该转子以很高的转速旋转并且 由此产生高度真空。转子和驱动其的马达通常支撑在磁性轴承中。在外 壳中具有真空，在通常情况下低于10mbar。用于马达和磁性轴承的电 流引入装置以真空密封的方式设在外壳上。

EP 1 757 825 A1描述了一种真空泵，在该真空泵中在外壳中的电流引 入装置具有电路板。电路板的内侧在插入密封件的情况下紧挨着外壳并且 外侧在插入另一个密封件的情况下紧挨着外部的真空盖，该真空盖以真空 密封的方式将外壳封闭。电路板的印制导线穿过两个密封件之间的间隙。 电路板在外壳之外具有伸出部，连接器设在该伸出部上。另一个连接器与 外壳内部中的印制导线相接触。

发明内容

本发明的目的是提供一种真空泵，在该真空泵中电流引入装置没有 伸出外壳的电路板部分，使得避免了损害电路板和暴露的插接装置。

本发明提供一种真空泵。该真空泵具有带有第一和第二密封件的电 路板，其中所述第一和第二密封件设置为彼此相对侧向偏移，使得电路 板的分区在外侧受到大气压力作用并且在内测受到产生的真空作用。

一个优点在于，承受压力差且在在侧向没有伸出外壳壁的分区能够 用于将电导体与电路板连接。通过密封件设置为彼此相对侧向偏移，在 壁轮廓内具有用于连接外部导线的位置。因此，电路板不需要伸出外壳 的外部轮廓。在电路板的压力差在其中起作用的壁区域中，电路板自身 形成泵的壁。在该分区中能够防止弯曲，因为电路板紧靠着外壳壁的端 侧的末端被支撑。

根据本发明的优选实施形式，形成外壳的真空闭合件的真空盖设置 在护盖中并且相对于护盖能够移动。垂直于盖平面的移动可能性使得能 够压紧密封件。真空盖通过作用于其上的压力差被固定并且通过护盖仅 以松动的方式被定位。护盖用于避免损坏真空盖和电路板。此外，护盖 能够作为用于插接装置的载体并用于连接通向电路板的外部的电导体。 护盖包括用于定位真空盖的定位装置，然而允许真空盖对存在的压力差 产生反应。或者也可以与护盖一体化构成真空盖。

附图说明

接下来参照附图详述本发明的实施例。

其示出：

图1是通过真空泵的外壳的局部纵剖面图，其示出电流引入装置的 第一实施形式，以及

图2示出电流引入装置的第二实施形式，其中电路板此外装有电子 部件。

具体实施方式

图1中示出涡轮分子泵的外壳10。外壳10包括马达和泵转子。该 外壳10在末端具有泵入口11并且在其圆周上具有泵出口12。在泵入口 11处产生真空。泵出口12能够通向大气中或者通向预真空泵。

外壳的环形壁13在后面的端部具有平的端面14。端面14在凹槽中 包括环形的第一密封件15，该第一密封件为O形环。紧靠着端面14设 置电路板16，该电路板16由绝缘材料体组成，该绝缘材料体的一面或 者两面设有印制导线(未示出)。这种电路板也称为“印制的电路”电 路板16以密封的方式紧挨着密封件15。电路板16在由端面14环绕的 中央区域内包括用于压力平衡的开口17。电路板16具有朝向泵的内部 空间的内侧18和背向内侧的外侧19。内侧18紧挨着第一密封件15。

真空盖20紧靠着电路板的外侧19放置。真空盖包括带有第二密封 件21的环形槽。在该密封件中同样为形状为O形环的环形密封件。第 二密封件21具有小于第一密封件15的开口直径。因此，在两个密封件 15、21之间出现环形的分区22，该环形的分区22承受存在的压力差， 因为在其外侧受到大气压力作用并且在其内侧受到真空作用。在由第二 密封件21围绕的区域内，存在由于开口17的压力平衡，也就是说，外 壳内部中的真空在该区域作用在真空盖20上。因此大气压力将真空盖 20朝壁13的方向压紧。