[发明专利]光电生产线

权利要求书

1.一种自动化整合式太阳能电池生产线，包括：

一基板加载站，其经设置以加载一或多个第一基板到该自动化整合式太阳能生产线，该自动化 整合式太阳能生产线包括多个自动化装置，该些自动化装置经设置以沿一路径连续地传送该一或多 个基板；

一前接触隔离模块，所述前接触隔离模块沿该路径设置，且所述前接触隔离模块设置于该基板 加载站下游，并且所述前接触隔离模块适以蚀刻沉积于该一或多个第一基板其中一个上的一前接触 层，以于其间提供隔离；

多个群集工具，所述多个群集工具沿该路径设置，且所述多个群集工具设置于该前接触隔离模 块下游，并且所述多个群集工具具有至少一个处理腔室适以在该第一基板的一表面上沉积一含硅层；

一内联形成模块，所述内联形成模块沿该路径设置，且所述内联形成模块设置于该多个群集工 具下游，并且所述内联形成模块适以蚀刻该沉积的含硅层；

一或多个金属沉积腔室，所述一或多个金属沉积腔室沿该路径设置，且所述一或多个金属沉积 腔室设置在该内联形成模块下游，并且所述一或多个金属沉积腔室适以在该沉积的含硅层上沉积一 金属层；

一背接触隔离模块，所述背接触隔离模块沿该路径设置，且所述背接触隔离模块设置在该一或 多个金属沉积腔室下游；

一或多个边缘删除模块，所述一或多个边缘删除模块沿该路径设置，且所述一或多个边缘删除 模块设置在该一或多个金属沉积腔室下游，并且所述一或多个边缘删除模块适以从该第一基板的周 围区域移除材料；

一连接线附接模块，所述连接线附接模块沿该路径设置，且所述连接线附接模块设置在该一或 多个边缘删除模块下游；及

一积层装置，所述积层装置沿该路径设置，且所述积层装置设置在该连接线附接模块下游，并 且所述积层装置适以将第二基板黏接到该第一基板，所述黏接透过施加热及压力到该第一基板和第 二基板而实现，而在该第一基板和第二基板间夹设有该含硅层与一黏接层。

2.权利要求1所述的自动化整合式太阳能电池生产线，还包括配置于该积层装置下游的一热压 釜。

3.权利要求2所述的自动化整合式太阳能电池生产线，其中该热压釜包括：

一容器；

一压缩器，所述压缩器与该容器的处理区流体连通且适以在大于13巴的压力下将该第一基板、 第二基板以及黏接层暴露至一气体；

一加热组件，所述加热组件设置在该处理区内；

一基板支撑件，所述基板支撑件适以支撑多个在该处理区内已黏接在一起的第一和第二基板； 以及

至少一个间隔物，所述至少一个间隔物适以定位每一该多个第一及第二基板，该多个第一及第 二基板在于热压釜中进行处理期间已以隔开的关系黏接在一起。

4.权利要求1所述的自动化整合式太阳能电池生产线，其中该连接线附接模块包括：

一基板搬运装置，所述基板搬运装置适以将该基板从第一位置传送到第二位置；

一视觉系统，所述视觉系统经设置以观看该基板的一表面；

二或更多个导电元件沉积装置，每一该导电元件沉积装置适以在当该基板搬运装置将该基板由 该第一位置移动到该第二位置时，同时放置导电元件到形成在该基板的该表面上的一导电层上；以 及

二或更多个焊接点，所述二或更多个焊接点经定位以提供热至设置在该导电层上的至少一个该 导电元件的二或更多个区域。

5.权利要求1所述的自动化整合式太阳能电池生产线，还包括一或多个测试模块，其中每一该 一或多个测试模块包括：

多个接脚；

一测量装置，所述测量装置与该多个接脚中的至少一个接脚彼此为电连通；

一视觉系统，所述视觉系统经设置以观看该基板的一表面，且所述视觉系统适以利用一照相机、 一控制器和一或多个机器臂装置来观看形成在该基板上的多个特征结构；及

一致动器，所述致动器适以相对于该基板来放置该些接脚，使得该些接脚可与该基板想要的表 面形成电接触。