[发明专利]显示元件的制造方法、显示元件的制造装置及显示装置有效
申请号: | 200880105587.5 | 申请日: | 2008-09-01 |
公开(公告)号: | CN101796561A | 公开(公告)日: | 2010-08-04 |
发明(设计)人: | 奈良圭;浜田智秀 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | G09F9/00 | 分类号: | G09F9/00;G02B5/20;G02F1/1335;H01L51/50;H05B33/10;H05B33/12;H05B33/22;H05B33/26;H05B33/28 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 经志强;杨林森 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 元件 制造 方法 装置 显示装置 | ||
技术领域
本发明涉及有机电致发光(EL)元件、液晶显示元件或电场放射显 示器(FED:场致发光显示器)等平板显示元件。另外,还涉及该显示 元件的制造方法以及制造装置,特别是涉及制造用于驱动显示元件的驱 动电路的显示元件制造方法和制造装置。
背景技术
液晶显示元件等显示元件由于具有小型、薄型、低耗电以及重量轻 的特点,所以目前在各种电子设备中被广泛使用。对于驱动这些显示元 件的驱动电路或薄膜晶体管,一般使用被称为步进曝光装置的曝光装置 来制造。
但是,特别是随着液晶显示元件向大型化发展,在达到第8代以后, 由于制造成本和装置输送的限制等,存在着诸多问题,使用目前的比例 放大延长线上的技术已经不能应对。另外,为了降低制造成本,在基板 尺寸扩大的高效率化的基础上,如何实现装置成本的降低、运行成本的 降低以及大型面板的成品率的提高,成为重大的课题。
另外,在市场上开始出现了有机EL和电场放射型显示器等,关于 这些下一代的显示元件的制造,如何实现装置成本的降低、运行成本的 降低也成为重大的课题。
在专利文献1中,作为液晶显示元件的装置成本的降低、运行成本 的降低的对策,公开了一种以基板卷的形式来制造液晶显示元件的方 法。
专利文献1:日本特许第3698749号公报
专利文献2:美国专利6320640号
专利文献3:美国专利6839123号
但是,专利文献1所公开的实施例虽然公开了可容易制造的无源型 液晶单元的制造方法,但未涉及目前使用的具有高精度的驱动电路或薄 膜晶体管的显示装置的制造。另外,专利文献1的技术虽然是使用液滴 涂敷法涂敷导电墨水来形成电极,但是存在该导电墨水未必被准确涂敷 的情况,在这种情况下,将制造出大量的可靠性低的显示元件。另外, 在使用液滴涂敷法形成布线电极的情况下,在布线形成表面涂敷的液滴 会扩展,因此难以做成宽度细的布线。并且,被涂敷的液滴在布线形成 表面容易滚动,因此难以在所希望的区域上形成连续的布线。
发明内容
因此,本发明的目的是,提供一种即使线宽非常细,也能够形成位 置容易进行控制的布线的显示元件的制造方法。另外,提供一种在柔性 基板上形成可靠性高的驱动电路或薄膜晶体管的显示元件用制造装置 以及可靠性高的显示元件。
第1观点的显示元件的制造方法包括:隔壁形成工序,在沿长度方 向输送的基板上形成第1隔壁和第2隔壁;疏液处理工序,对第1隔壁 和第2隔壁实施疏液处理;和涂敷工序,在形成于第1隔壁与第2隔壁 之间的槽部涂敷液滴。
根据该制造方法,即使是在为了对第1隔壁和第2隔壁实施疏液处 理而在槽部涂敷液滴时误将液滴涂敷在第1隔壁或第2隔壁上的情况 下,也能够使液滴在隔壁上被排斥而进入槽部。因此,即使在基板被高 速输送,以及液滴难以准确涂敷的情况下,也不容易产生不良品。
第2观点的显示元件的制造方法包括:隔壁形成工序,在沿长度方 向输送的基板上形成第1隔壁和第2隔壁;亲液处理工序,对形成在第 1隔壁和第2隔壁之间的槽部实施亲液处理;和对槽部涂敷液滴的涂敷 工序。
根据该制造方法,由于对槽部实施了亲液处理,所以,液滴在进入 了槽部时,液滴不会从槽部中溅出。因此,由液滴形成的电极等能够精 确地形成在槽部,从而不容易产生不良品。
第3观点的显示元件的制造方法包括:在沿长度方向输送的基板上 形成凸凹部的隔壁形成工序;对凸部实施疏液处理的疏液处理工序;和 在凹部涂敷液滴的涂敷工序。
根据该制造方法,由于对凸部实施了疏液处理,所以,即使是向槽 部涂敷液滴时错误地涂敷在凸部上的情况,液滴在凸部上也会被排斥, 使液滴进入槽部。因此,即使在基板被高速输送以及液滴难以准确地涂 敷的情况下,也不容易产生不良品。
第4观点的显示元件的制造方法包括:在沿长度方向输送的基板上 形成凸凹部的隔壁形成工序;对凹部实施亲液处理的亲液处理工序;和 在凹部涂敷液滴的涂敷工序。
根据该制造方法,由于对凹部实施了亲液处理,所以,液滴在进入 了凹部时,液滴不会从凹部中溅出。因此,由液滴形成的电极等能够精 确地形成在槽部,从而不容易产生不良品。
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