[发明专利]光学元件、用于制造该元件的方法以及具有该元件的光电部件

说明书

技术领域

本发明涉及一种具有一定形状的光学元件、一种用于制造该光学 元件的方法以及一种包括这种元件的光电部件。

背景技术

本专利申请要求德国专利申请102007041889.4和102007052 133.4的优先权，这些德国专利申请的公开内容通过引用结合于此。

在光电部件中可以存在具有粘性表面的光学元件。这种表面导致 污染物或者颗粒(诸如灰尘)粘附到所述表面上或者元件自身粘附在 其它元件上。这种粘附可导致质量问题。

发明内容

本发明的任务是提供一种光学元件，该光学元件关于上述缺点而 被改进。

该任务通过根据权利要求1所述的光学元件来解决。一种用于制 造该元件的方法和一种具有该元件的光电部件是其它权利要求的主 题。

根据本发明的实施形式，具有一定形状的光学元件包括固化树脂， 所述固化树脂具有减少附着的表面层。所述减少附着的表面层是经过 化学改良的。因此，这种光学元件减少了由于颗粒粘附所引起的污染。

所述元件可以由与所述表面层相同的固化树脂成形，其中所述表 面层的固化树脂是经过化学改良的。因此，不必在所述元件上布置附 加的层，而是只通过化学改良来制造固化树脂的表面层。作为化学改 良可以对表面层进行氟化。所述光学元件例如可以减少灰尘颗粒的附 着。

光学元件可以与光进行相互作用，并且因此是光学活性的或者是 光学操纵的。因此，光学元件可以起到形成光、引导光或者转换光的 作用。光学元件可以例如以散射、折射、反射、偏转以及衍射的形式 来显示出其光学作用。

所述光学元件对于辐射可以是透明的或者反射性的。由此，所述 光学元件可以被放入光电部件中。在那里，透明的元件可以被布置在 所发射的或者被接收的辐射的光路中。

所述元件可以被成形为浇注体或者被成形为透镜。由此，所述元 件适合于用作例如光电部件中的光学元件。如果所述元件被成形为浇 注体，则该元件可以被用作例如用于半导体层序列的浇注体。具有带 有减少附着的表面层的固化树脂的透镜对温度和辐射是特别稳定的， 并且对于所发射的和被接收的辐射来说是透明的。

在所述光学元件中存在的固化树脂可以具有选自如下组的材料： 所述组包括硅树脂、环氧树脂以及具有硅基和/或环氧基的混合树脂。 这些材料是透明的并且适合于成形为浇注体或者透镜。

此外提供一种用于制造具有上述特征的光学元件的方法。这种方 法包括以下方法步骤：A)提供固化树脂，B)使所述固化树脂成形为 所述光学元件，以及C)由所述光学元件制造所述固化树脂的减少附着 的表面层。所述方法可以有针对性地并且相对简单地来实施。

在所述方法中，可以在方法步骤A)中提供选自如下组的固化树脂： 所述组包括硅树脂、环氧树脂以及具有硅基和/或环氧基的混合树脂。 在方法步骤B)中，所述固化树脂可以被成形为透镜或者被成形为浇注 体。例如注塑法或者浇注可以被用于成形。由此可以有针对性地制造 所述元件的期望形状。

在方法步骤C)中，为了制造减少附着的表面层，可以对所述固化 树脂的表面层进行化学改良。为了进行方法步骤C)中的化学改良，可 以使所述固化树脂暴露于等离子体中。所述等离子体可以含有含氟化 合物，所述含氟化合物可以选自包括CF₄、C₂F₆、NF₃和SF₆的组。所述 化合物含有用于对硅树脂或者环氧树脂进行氟化的氟。例如可以对在 固化树脂中含有的碳原子进行氟化。由此形成聚四氟乙烯类化合物， 其在固化树脂的表面上构成厚度小于50nm的薄层。此外，含有含氟化 合物的等离子体可以含有惰性气体、诸如氩，并且因此根据需要使含 氟化合物变薄。在此，氩与含氟化合物的比例可以处于1∶9到9∶1 之间。所述固化树脂可以暴露于等离子体中1至30分钟、优选为5至 30分钟。这可以在室温下进行，其中所述固化树脂可以在利用等离子 体进行处理期间被加热到直至40℃至50℃。所述等离子体可以包括 低压等离子体，从而所述固化树脂在大约0.1mbar的压力下暴露于等 离子体中。